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[发明专利]显影装置、衬底处理装置、显影方法及衬底处理方法-CN201780069615.1有效
发明人：春本将彦;浅井正也;田中裕二;金山幸司 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-10-04 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明中，在衬底的一面上形成含金属涂布膜，在含金属涂布膜上由感光性有机材料形成有机涂布膜，且有机涂布膜被曝光成指定图案。通过狭缝喷嘴向有机涂布膜供给显影液，由此在有机涂布膜形成指定图案。另外，通过置换喷嘴向有机涂布膜的图案及含金属涂布膜供给置换液，由此将含金属涂布膜的部分去除，在含金属涂布膜形成指定图案。通过冲洗喷嘴向具有有机涂布膜的图案及含金属涂布膜的图案的衬底供给冲洗液。
显影装置衬底处理方法

[发明专利]衬底处理方法及衬底处理装置-CN201780084716.6有效
发明人：中山知佐世;田中裕二;春本将彦;浅井正也;福本靖博;松尾友宏;石井丈晴 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-10-24 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明涉及一种衬底处理方法及衬底处理装置。本发明的衬底处理方法是根据已设定的减少工艺使氧浓度减少，之后进行热处理。由此，降低热处理空间HS内的氧浓度后对衬底W进行热处理，所以能够使热处理空间的处理环境适于热处理工艺，从而能够适当地进行成膜。并且，只要根据配方的氧浓度等级减少氧浓度即可，所以无过度地减少氧浓度的情况，而无降低产能的情况。
衬底处理方法装置

[发明专利]高强度冷轧钢板、高强度镀覆钢板、高强度冷轧钢板的制造方法以及高强度镀覆钢板的制造方法-CN202180069635.5在审
发明人： 田中裕二;多田雅毅;田路勇树;小峯慎介;小幡美绘;木俣雄介 -专利权人：杰富意钢铁株式会社
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： C21D9/46 文献下载
摘要：本发明提供一种具有拉伸强度(TS)1080MPa以上的拉伸强度，且兼具优异的延展性、拉伸凸缘性以及弯曲性的高强度冷轧钢板及其制造方法。一种高强度冷轧钢板，具有如下的成分组成和钢组织，所述成分组成包含C、Si、Mn、P、S、N、Al、Ti、Nb和B，剩余部分由Fe及不可避免的杂质构成，满足[mol％N]/[mol％Ti]＜1，所述钢组织中，铁素体：以面积分率计为12％以上且小于30％，回火马氏体以及贝氏体：以面积分率计合计为55％～85％，淬火马氏体：以面积分率计15％以下，残留奥氏体：以面积分率计为1％～10％，具有0.8×[％Mn]以下的Mn浓度的低Mn铁素体的面积分率为5％～20％，(上述铁素体的面积分率)－(上述低Mn铁素体的面积分率)：10％以上，其余组织：以面积分率计小于3％，并且上述低Mn铁素体的平均结晶粒径为10μm以下。
强度冷轧钢板镀覆制造方法以及

[发明专利]曝光装置、衬底处理装置、衬底曝光方法及衬底处理方法-CN201780077239.0有效
发明人：福本靖博;大木孝文;松尾友宏;浅井正也;春本将彦;田中裕二;中山知佐世 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-10-04 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明的曝光装置(100)具备投光部(160)、照度计(183)、遮光部(190)、投光控制部(12)。通过投光部向衬底(W)的被处理面照射真空紫外线。在从投光部向衬底照射真空紫外线的照射期间，通过照度计接收一部分真空紫外线，并计测所接收到的真空紫外线的照度。在照射期间，通过遮光部断断续续地遮挡真空紫外线向照度计的受光面的入射。基于通过照度计所计测出的照度，使投光部停止向衬底照射真空紫外线。
曝光装置衬底处理方法

[发明专利]高强度冷轧钢板、高强度镀覆钢板、高强度冷轧钢板的制造方法、高强度镀覆钢板的制造方法以及汽车部件-CN202180069646.3在审
发明人： 田中裕二;多田雅毅;田路勇树;小峯慎介;小幡美绘;木俣雄介 -专利权人：杰富意钢铁株式会社
申请日： 2021-08-05 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C21D9/46 文献下载
摘要：本发明提供一种拉伸强度(TS)为980MPa以上且兼具优异的延展性、拉伸凸缘性和弯曲性的高强度冷轧钢板及其制造方法。高强度冷轧钢板具有以下成分组成和钢组织，所述成分组成为含有C、Si、Mn、P、S、N、Al、Ti、Nb及B，剩余部分由Fe和不可避免的杂质组成，满足[mol％N]/[mol％Ti]＜1；所述钢组织为铁素体：以面积率计30％～60％，回火马氏体和贝氏体：以面积率合计35％～65％，淬火马氏体：以面积率计15％以下，残余奥氏体：以面积率计1％～10％，具有0.8×[％Mn]以下Mn浓度的低Mn铁素体的面积率为5％～40％，(上述铁素体面积率)－(上述低Mn铁素体面积率)：10％以上，其余组织：以面积率计小于3％，此外，上述低Mn铁素体的平均粒径为10μm以下。
强度冷轧钢板镀覆制造方法以及汽车部件

[发明专利]光电转换元件、光电转换模块、电子装置和分隔件-CN202211489686.6在审
发明人： 田中裕二;田中正人;田元望;兼为直道 -专利权人：株式会社理光
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H10K30/88 文献下载
摘要：本申请涉及光电转换元件、光电转换模块、电子装置和分隔件。光电转换元件包括：第一基材；第一电极；光电转换层；第二电极；密封部；和第二基材。所述光电转换元件是透光性的。所述第二电极包括导电性纳米线和导电性聚合物。所述密封部包括干燥剂。
光电转换元件模块电子装置分隔

[发明专利]光电转换元件和光电转换元件模块-CN202211300210.3在审
发明人：田中正人;田中裕二;田元望;兼为直道 -专利权人：株式会社理光
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H10K30/88 文献下载
摘要：本发明的名称是光电转换元件和光电转换元件模块。本发明提供一种具有优异生产率、初始输出性能和耐久性的光电转换元件。一种光电转换元件，其中第一基板、第一电极、光电转换层、第二电极和第二基板依次层压，其包括围绕至少光电转换层的粘合剂层，其中，在平面图中，在粘合剂层的外边缘和第一基板的外边缘之间形成围绕粘合剂层外边缘的间隙。
光电转换元件模块

[发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN201780053396.8有效
发明人：春本将彦;金山幸司;田中裕二;浅井正也 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-04-03 - 公布日： 2023-05-05 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：调温部C1对向显影喷嘴21供给的显影液的温度进行调节。调温部C2、C3分别对向冲洗喷嘴31以及背部冲洗喷嘴35供给的冲洗液的温度进行调节。调温部C4对向处理喷嘴41供给的处理液的温度进行调节。调温部C2、C3、C4将冲洗液及处理液的温度调节在恒定的范围内。在抗蚀剂膜F1的显影处理后，一边将基板W的温度调节在恒定范围内，一边以覆盖抗蚀剂图案FP1的方式在基板的一面形成具有比抗蚀剂膜的耐蚀刻性高的耐蚀刻性的反转膜F2。
处理装置方法

[发明专利]光电转换元件、光电转换模块及电子设备-CN202211188553.5在审
发明人：田中正人;田中裕二;田元望;兼为直道 -专利权人：株式会社理光
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： H10K30/88 文献下载
摘要：本发明的名称是光电转换元件、光电转换模块及电子设备。光电转换元件包括：第一电极；光电转换层；和第二电极。光电转换元件包括密封部，其设置为至少覆盖光电转换层和第二电极的侧表面。密封部包括压敏粘合剂。
光电转换元件模块电子设备

[发明专利]基板处理装置及基板处理方法-CN201780009122.9有效
发明人：春本将彦;浅井正也;田中裕二;金山幸司 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-02-03 - 公布日： 2023-02-14 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：在基板(W)的被处理面上形成有包含金属成分及感光性材料的抗蚀膜之后，由边缘曝光部(41)对基板的周缘部照射光。由此，对基板的周缘部上的抗蚀膜的部分进行曝光。接着，通过由显影液喷嘴(43)对基板的周缘部供给显影液，由此对被曝光后的抗蚀膜的部分进行显影处理。由此，除去在基板的周缘部上形成的抗蚀膜的部分。然后，将基板搬送至曝光装置(15)。通过在曝光装置中对基板进行曝光处理，由此在抗蚀膜上形成曝光图案，接着通过在显影处理单元(139)中对曝光处理后的基板供给显影液，由此进行抗蚀膜的显影处理。
处理装置方法

[发明专利]显影单元、基板处理装置、显影方法及基板处理方法-CN201780008307.8有效
发明人： 田中裕二;浅井正也;春本将彦;金山幸司 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2017-02-03 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明由旋转卡盘来保持已将含有金属的涂布液的膜曝光成规定图案的基板。利用狭缝喷嘴对由旋转卡盘所支承的基板的被处理面供给显影液。利用清洗喷嘴对被供给显影液后的基板的被处理面供给去除金属或使金属溶解的清洗液。
显影单元处理装置方法

[发明专利]光电转换元件及生产光电转换元件的方法、光电转换模块和电子设备-CN202210552648.4在审
发明人：田元望;田中裕二;兼为直道;田中正人 -专利权人：株式会社理光
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H01G9/20 文献下载
摘要：本发明提供一种光电转换元件及生产光电转换元件的方法、光电转换模块和电子设备。光电转换元件包括第一电极、光电转换层和第二电极。光电转换层包括空穴传输层，空穴传输层包括具有非对称结构的锂盐，并且空穴传输层的每单位体积的溶剂量为30μg/mm3或更少。
光电转换元件生产方法模块电子设备

[发明专利]高强度钢板及其制造方法-CN202080019932.4有效
发明人：南秀和;田中裕二;横田毅 -专利权人：杰富意钢铁株式会社
申请日： 2020-02-21 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： C21D9/46 文献下载
摘要：本发明提供一种高强度钢板及其制造方法，该高强度钢板的延展性、拉伸凸缘性、弯曲性和耐LME性优异，能以高尺寸精度制造部件，拉伸强度为980MPa以上。上述高强度钢板具有如下的成分组成和钢组织：含有C、Si、Mn、P、S、Al、N、Mo、Cr、Ca和Sb，且[％Si]、[％Mn]、[％P]、[％Mo]和[％Cr]满足规定的关系，剩余部分由Fe和不可避免的杂质构成；该钢组织具有铁素体、硬质相、残余奥氏体，残余奥氏体中的碳浓度为0.55％～1.10％，钢板中的扩散氢量为0.80质量ppm以下，表层软化厚度为5μm～150μm，并且，高温拉伸试验后的钢板表层的对应晶界频率为0.45以下；该高强度钢板的拉伸强度为980MPa以上。
强度钢板及其制造方法

[发明专利]基板处理装置-CN201810160960.2有效
发明人：福本靖博;田中裕二;松尾友宏;石井丈晴 -专利权人：株式会社斯库林集团
申请日： 2018-02-27 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置，具备处理容器、销、密封壳体、密封构件以及排气口。处理容器具有开口。销穿过开口配置在处理容器的内部和处理容器的外部的范围内，且能在销的轴心方向上往复移动。密封壳体配置于处理容器的外部，在开口的周围与处理容器紧密接触，并且，容纳销的一部分。密封构件与密封壳体的内周面紧密接触，并且，以能够与销滑动的方式与销的外周面紧密接触。排气口与密封壳体连通连接。
处理装置

[发明专利]光电转换元件，光电转换模块，电子设备，和电源模块-CN202180021611.2在审
发明人：堀内保;田元望;田中裕二;兼为直道;井出陵宏 -专利权人：株式会社理光
申请日： 2021-03-12 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： H01L51/46 文献下载
摘要：光电转换元件，其包括：第一载体；第一电极；电子传输层；光电转换层；空穴传输层；和第二电极，所述空穴传输层包括：包含以下通式(1)的重复单元的聚合物，和通式(2)的化合物：在通式(1)中，Ar1表示芳族烃，其可具有取代基；Ar2和Ar3各自独立地表示单环芳族烃、非稠合的多环芳族烃、或稠合的多环芳族烃的二价基团，其可具有取代基；Ar4表示苯、噻吩、联苯、蒽、或萘的二价基团，其可具有取代基；R1至R4各自独立地表示氢、烷基、或芳基；并且n表示2或更大、并且允许通式(1)的聚合物具有2,000或更大的重均分子量的整数；以及在通式(2)中，R5至R9可相同或不同，表示氢、卤素、烷基、烷氧基、或芳基；并且X表示阳离子。
光电转换元件模块电子设备电源模块

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