[发明专利]平移式Z轴加速度计有效
| 申请号： | 201680011041.8 | 申请日： | 2016-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN107407695B | 公开（公告）日： | 2020-03-20 |
| 发明（设计）人： | 马修·朱利安·汤普森;约瑟夫·西格 | 申请（专利权）人： | 应美盛公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 徐春;杨明钊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种用于提供MEMS传感器的系统和方法。在第一方面，该系统是MEMS传感器，该MEMS传感器包括：基底；锚定区域，其联接到基底；至少一个支撑臂，其联接到锚定区域的；至少两个引导臂，其联接到该至少一个支撑臂并且相对于该至少一个支撑臂移动；多个感测元件设置在该至少两个引导臂上以测量该至少两个引导臂相对于基底的运动；以及检测质量块系统，其包括通过一组弹簧联接到至少两个引导臂中的每一个的至少一个质量块。该检测质量块系统设置在锚定区域、至少一个支撑臂、至少两个引导臂、一组弹簧以及多个感测元件外。 | ||
| 搜索关键词： | 平移 加速度计 | ||
【主权项】：
一种MEMS传感器，包括：基底；锚定区域，其联接到所述基底；至少一个支撑臂，其联接到所述锚定区域；至少两个引导臂，其联接到所述至少一个支撑臂，其中，所述至少两个引导臂相对于所述至少一个支撑臂移动；第一多个感测元件，其用于测量所述至少两个引导臂相对于所述基底的运动；以及检测质量块系统，其经由第一组弹簧联接到所述至少两个引导臂中的每一个，其中，所述检测质量块系统设置在所述锚定区域、所述至少一个支撑臂、所述至少两个引导臂、所述第一组弹簧以及所述第一多个感测元件外。
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