[发明专利]线锯切割设备

摘要

本发明揭示了一种线锯切割设备，所述线锯切割设备包括：锯丝，所述锯丝构造为切割锭块；锭块传送器单元，所述锭块传送器单元构造为传送所述锭块到所述锯丝处；喷嘴，所述喷嘴构造为供应浆液到所述锯丝处；和分散浆液阻挡单元，所述分散浆液阻挡单元设置在由所述锯丝锯切的锭块的上方和旁边并且构造为吸收至少部分的从由所述锯丝切割的所述锭块的侧表面分散的浆液，其中所述分散浆液阻挡单元包括吸收所述分散的浆液的网状结构。本发明的线锯切割设备可通过使因分散的浆液的再引入所引起的锭块的过度冷却最小化来减少晶片的翘曲。

主权项

1.一种线锯切割设备，所述线锯切割设备包括：锯丝，所述锯丝构造为切割锭块；锭块传送器单元，所述锭块传送器单元构造为传送所述锭块到所述锯丝处；喷嘴，所述喷嘴构造为供应浆液到所述锯丝处；和分散浆液阻挡单元，所述分散浆液阻挡单元设置在由所述锯丝锯切的锭块的上方和旁边并且构造为吸收至少部分的从由所述锯丝切割的所述锭块的侧表面分散的浆液，其特征在于，所述分散浆液阻挡单元包括吸收所述分散的浆液的网状结构，其中，所述分散浆液阻挡单元包括：上部部分，所述上部部分附连到支承所述锭块传送器单元的支承表面；下部部分，所述下部部分包括构造为吸收所述分散的浆液的至少一个网板；和位于所述上部部分与所述下部部分之间的侧向部分，其中，所述至少一个网板包括一个堆叠在另一个上的多个网板，并且其中，所述网板中的孔的尺寸随着到所述锯丝的距离的增加而减小。