[发明专利]控制器及其用途、具有该控制器的真空泵及温度调节方法

摘要

本发明涉及一种用于调节在压缩机或真空元件(1)的出口通道(3)处的温度的方法，该方法包括在入口通道(9)上设置调压阀(4)的步骤，该入口通道(9)与压缩机或真空元件(1)直接流体连通，该阀(4)通过相对于该压缩机或真空元件(1)内的压力值与设定压力值之间的差调整在工艺通道(8)与压缩机或真空元件(1)之间流动的流体的体积来调节压缩机或真空元件(1)内的压力，其中该方法还包括以下步骤：‑启动压缩机或真空元件(1)和通过将压缩机或真空元件(1)的入口通道(2)连接至吹扫气体源一段预选定时间间隔来启动预吹扫循环；‑随后将入口通道(9)连接至工艺通道(8)；以及‑将入口通道(2)与工艺通道(8)断开连接和启动在入口通道(2)处调节气体流的后吹扫循环以维持真空元件(1)内的设定温度一段选定时间间隔。

主权项

1.一种用于调节真空元件(1)的出口通道(3)处的温度的方法，所述方法包括以下步骤：‑在入口通道(2)上设置调压阀(4)，该入口通道(2)与真空元件(1)直接流体连通，该调压阀(4)通过相对于该真空元件(1)内的压力值与设定压力值之间的差调整在工艺通道(8)与真空元件(1)之间流动的流体的体积来调节真空元件(1)内的压力；其特征在于，所述方法还包括以下步骤：‑启动所述真空元件(1)并通过将所述真空元件(1)的入口通道(2)连接至吹扫气体源一段预选定时间间隔来启动预吹扫循环；‑随后将所述入口通道(2)连接至工艺通道(8)；以及‑将所述入口通道(2)与所述工艺通道(8)断开连接并启动后吹扫循环，以便将真空元件(1)内的设定温度维持一段选定时间间隔，其中，在所述后吹扫循环中，在入口通道(2)处调节气体流。