[发明专利]控制器及其用途、具有该控制器的真空泵及温度调节方法

权利要求书

1.一种用于调节真空元件(1)的出口通道(3)处的温度的方法，所述方法包括以下步骤：

-在入口通道(2)上设置调压阀(4)，该入口通道(2)与真空元件(1)直接流体连通，该调压阀(4)通过相对于该真空元件(1)内的压力值与设定压力值之间的差调整在工艺通道(8)与真空元件(1)之间流动的流体的体积来调节真空元件(1)内的压力；

其特征在于，所述方法还包括以下步骤：

-启动所述真空元件(1)并通过将所述真空元件(1)的入口通道(2)连接至吹扫气体源一段预选定时间间隔来启动预吹扫循环；

-随后将所述入口通道(2)连接至工艺通道(8)；以及

-将所述入口通道(2)与所述工艺通道(8)断开连接并启动后吹扫循环，以便将真空元件(1)内的设定温度维持一段选定时间间隔，其中，在所述后吹扫循环中，在入口通道(2)处调节气体流。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括调整真空元件(1)的速度以便将在所述出口通道(3)处测量的温度维持在预定最大值与预定最小值之间的步骤。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，如果在真空元件(1)的出口通道(3)处的温度高于最大选定温度T_max，则减小真空元件的速度，和/或如果在真空元件(1)的出口通道(3)处的温度低于最小选定温度T_min，则增加真空元件(1)的速度。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，T_min小于100℃。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，T_min小于98℃。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，T_min为97.5℃。

7.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，T_max大于100℃。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，T_max大于101℃。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，T_max为102.5℃。

10.根据权利要求1所述的方法，还包括提供用于气镇的电磁阀(5)的步骤，所述电磁阀(5)安装在与所述真空元件(1)直接流体连通的通道上。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述电磁阀(5)在吹扫循环期间打开。

12.根据权利要求1所述的方法，还包括手动启动吹扫循环的步骤。

13.一种用于控制在真空元件(1)的入口通道(2)处的吹扫气体源的控制器，所述控制器包括：

-调速器，其用于测量和调整所述真空元件(1)的至少一个转子的转速；

-调压阀(4)，其被配置成安装在与所述真空元件(1)直接流体连通的入口通道(2)上，该调压阀(4)通过相对于该真空元件(1)内的压力值与设定压力值之间的差调整在工艺通道(8)与所述真空元件(1)之间流动的流体的体积来调节所述真空元件(1)内的压力；

其特征在于，所述控制器还包括：

-用于在启动所述真空元件(1)之后将入口通道(2)连接至吹扫气体源一段预定时间间隔的构件；

-用于将工艺通道(8)连接至真空元件(1)的入口通道(2)的构件；以及

-用于在入口通道(2)与工艺通道(8)断开连接之后将入口通道(2)连接至吹扫气体源并调整真空元件(1)的速度一段预定时间间隔的手段。

14.根据权利要求13所述的控制器，其特征在于，用于将入口通道(2)连接至吹扫气体源的所述构件包括阀(9)。