[发明专利]多重气体提供方法及多重气体提供装置

摘要

本发明的多重气体提供方法，各分支线路上分别设置控制阀及流量仪；由控制器调节气体供给量；控制器具有：第1控制方式，以测量流量相对于部分请求量的比率为基准控制各控制阀，在比率为已设定范围以外时，调节控制阀开度，控制阀开度调节单位随着测量流量和部分请求量的差异增减；第2控制方式，对于测量流量与部分请求量相比为既定值以上的分支的控制阀开度，按第3调节单位减少；对于测量流量与部分请求量相比小于既定值的分支的控制阀开度，按第3调节单位增加；第3控制方式，在第2控制方式持续既定时间以上的状态下，将测量流量为既定范围以内的分支的控制阀开度固定，且对测量流量为既定范围以外的分支的控制阀，回归到第2控制方式。

主权项

1.一种多重气体提供方法，其特征在于，在从供给一种以上气体的主供给线路分支并提供上述气体的多个分支线路上分别设置控制阀及流量仪；通过与上述流量仪及上述控制阀分别连接的控制器调节上述气体的供给量来提供上述气体；上述控制器具有如下的第1控制方式：以各分支线路为基准，以通过上述流量仪测量的流量相对于部分请求量的比率为基准控制各上述控制阀；上述第1控制方式对于上述测量的流量相对于上述部分请求量的比率为已设定的范围以外的所述分支线路上设置的上述控制阀调节开度，上述控制阀的开度调节单位随着上述测量的流量和上述部分请求量的差异增减，上述控制器具有如下的第2控制方式：对于通过上述流量仪测量的流量与上述部分请求量相比为已设定的数值以上的分支线路上设置的上述控制阀的开度，所述控制器以第3调节单位为基准减少；对于通过上述流量仪测量的流量与上述部分请求量相比小于已设定的数值的分支线路上设置的上述控制阀的开度，所述控制器以第3调节单位为基准增加，上述控制器具有如下的第3控制方式：在上述第2控制方式持续已设定的时间以上的状态下，所述控制器将通过上述流量仪测量的流量为已设定范围以内的所述分支线路上设置的上述控制阀的开度固定，且对于通过上述流量仪测量的流量为已设定的范围以外的所述分支线路上设置的所述控制阀，所述控制器回归到上述第2控制方式。