[发明专利]光调制器

摘要

本发明提供一种光调制器，其即使在使光波导及控制电极高集成化的情况下，也能缓和从信号电极的处理配线作用于光波导的应力引起的形变，抑制温度漂移等的发生。光调制器具有：具有电光效应的基板(1)；形成于该基板且具备至少一个马赫‑曾德尔型光波导的光波导(L1～L4)；及用于控制在该光波导中传播的光波的控制电极，所述光调制器的特征在于，该控制电极由信号电极(S1、S2)和接地电极(G1～G3)构成，且该信号电极具备与设置在该基板的外部的电路电连接的输入或输出用焊盘部(S1P、S2P)、使电场作用于该光波导的相互作用部(箭头R1)、及将该焊盘部与该相互作用部连结的配线部，在该马赫‑曾德尔型光波导的延伸方向(图3的横向)上，在构成该马赫‑曾德尔型光波导的2条分支波导存在的范围(箭头R2)内，该配线部的一部分与该延伸方向平行地配置，在相对于该马赫‑曾德尔型光波导的该延伸方向的中心对称轴而与所述配线部的一部分成为线对称的位置，形成该相互作用部的一部分、该配线部的另一部分、该接地电极的应力缓和结构中的任一个。

主权项

一种光调制器，具有：具有电光效应的基板；形成于该基板且具备至少一个马赫‑曾德尔型光波导的光波导；及用于控制在该光波导中传播的光波的控制电极，所述光调制器的特征在于，该控制电极由信号电极和接地电极构成，且该信号电极具备与设置在该基板的外部的电路电连接的输入或输出用焊盘部、使电场作用于该光波导的相互作用部、及将该焊盘部与该相互作用部连结的配线部，在该马赫‑曾德尔型光波导的延伸方向上，在构成该马赫‑曾德尔型光波导的两条分支波导存在的范围内，该配线部的一部分与该延伸方向平行地配置，在相对于该马赫‑曾德尔型光波导的该延伸方向的中心对称轴而与所述配线部的一部分成为线对称的位置，形成该相互作用部的一部分、该配线部的另一部分、该接地电极的应力缓和结构中的任一个。