[发明专利]膜厚监视装置用传感器、具备该膜厚监视装置用传感器的膜厚监视装置以及膜厚监视装置用传感器的制造方法在审
| 申请号： | 201680000656.0 | 申请日： | 2016-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN106104251A | 公开（公告）日： | 2016-11-09 |
| 发明（设计）人： | 伊藤敦 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02;C23C14/54;G01B21/08 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 刘杨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明提供能够通过简单的结构而提高膜厚的测量精度、实现高精度的成膜率的膜厚监视装置用传感器以及使用该膜厚监视装置用传感器的膜厚监视装置。该膜厚监视装置用传感器具备：SC－Cut水晶振子，具有绕作为水晶结晶轴的正交坐标系X轴、Y轴、Z轴中的Z轴旋转θ、绕X轴旋转 |
||
| 搜索关键词： | 监视 装置 传感器 具备 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种膜厚监视装置用传感器，其特征在于，该膜厚监视装置用传感器具备：SC－Cut水晶振子，该SC－Cut水晶振子具有绕作为水晶结晶轴的正交坐标系X轴、Y轴、Z轴中的Z轴旋转θ、绕X轴旋转![]()
的水晶板，且具有水晶振子的温度是10～170℃时的频率偏差为±20ppm以下的上述θ和![]()
以及传感器头，该传感器头保持上述水晶振子，且不具有冷却上述水晶振子的冷却部件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社爱发科，未经株式会社爱发科许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201680000656.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
