[实用新型]检测精密光学元件表面颗粒物的在线检测系统有效
| 申请号： | 201621454439.2 | 申请日： | 2016-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN206362529U | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 周国瑞;苗心向;吕海兵;牛龙飞;丁文东;刘昊;李可欣;邹睿;刘青安;马志强;周海;袁晓东 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01M11/00 | 分类号： | G01M11/00 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)11369 | 代理人： | 郑健 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种检测精密光学元件表面颗粒物的在线检测系统，包括箱体，其顶部设置有可供激光进入的入光口；设置在箱体内部的光学元件；其中，所述光学元件的镜框边缘上方相对设置有2个线光源；所述箱体一侧设置有光学显微成像装置；所述成像装置通过与其通信连接的上位机进而实现对光学元件表面颗粒物的在线检测。本实用新型提供一种检测精密光学元件表面颗粒物的在线检测系统，其能够通过光学元件与线光源，上位机与光学显微成像装置的配合，实现对光机装置中光学元件表面颗粒污染物的在线监测，并高效、高精度地实时提供光学元件表面洁净状态信息。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 精密 光学 元件 表面 颗粒 在线 系统 | ||
【主权项】：
一种检测精密光学元件表面颗粒物的在线检测系统，其特征在于，包括：箱体，其顶部设置有可供激光进入的入光口；设置在箱体内部，并与激光的入射光路呈45度夹角以将入射光路反射出箱体的光学元件；其中，所述光学元件的镜框边缘上方相对设置有，以对光线元件表面进行对称打光2个线光源；所述箱体一侧设置有拍摄角度与光学件表面相垂直的光学显微成像装置；所述成像装置通过与其通信连接的上位机进而实现对光学元件表面颗粒物的在线检测。
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