[实用新型]卫生型高性能薄膜压力传感器有效
申请号: | 201621393730.3 | 申请日: | 2016-12-20 |
公开(公告)号: | CN206258212U | 公开(公告)日: | 2017-06-16 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 北京中航兴盛测控技术有限公司 |
主分类号: | G01L9/00 | 分类号: | G01L9/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 102101 北京市延庆康*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种卫生型高性能薄膜压力传感器,由压力基座、薄膜压力传感器芯体、保护胶、上端盖组成。所述薄膜压力传感器芯体由弹性体、金丝引线、电路支架、电路板、信号线组成,其特征在于,所述弹性体是采用真空溅射方法制成的且底部开有“八”字型浅槽的高性能薄膜压力传感器敏感体,当弹性体受到压力作用时,输出与所受压力大小成比例的电信号,检测所述电信号就能得到所受压力值的大小。由于采用溅射薄膜压力敏感技术制造,避免了传统的卫生型压力传感器硅油泄漏以及由于硅油的存在而使压力传感器性能受温度影响较大的问题。广泛适用于药品、食品、饮料、酿酒等卫生型行业的压力测量。 | ||
搜索关键词: | 卫生 性能 薄膜 压力传感器 | ||
【主权项】:
一种卫生型高性能薄膜压力传感器,由压力基座(1)、薄膜压力传感器芯体(2)、保护胶(3)、上端盖(4)组成;所述薄膜压力传感器芯体(2)由弹性体(21)、金丝引线(22)、电路支架(23)、电路板(24)、信号线(25)组成,其特征在于,所述弹性体(21)是采用真空溅射方法制成的、底部开有“八”字型浅槽的高性能薄膜压力传感器敏感体,当所述弹性体(21)在所述“八”字型浅槽处受到压力作用时,输出与所受压力大小成比例的电信号,检测所述电信号就能得到所受压力值的大小。
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