[实用新型]多晶硅铸锭炉的坩埚组件有效
申请号: | 201621330479.6 | 申请日: | 2016-12-02 |
公开(公告)号: | CN206467332U | 公开(公告)日: | 2017-09-05 |
发明(设计)人: | 蒋兴贤 | 申请(专利权)人: | 常州兆晶光能有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 213100 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉的坩埚组件,坩埚以及对应坩埚的石墨护罩,石墨护罩包括设置在坩埚侧部的石墨侧板,以及设置在坩埚底部的石墨底板,石墨侧板通过长度方向的卡槽与石墨底板周向凸出的卡块卡合连接;石墨底板上位于周向的卡块内侧设置有集液槽。该实用新型通过石墨底板上一圈凸起的卡块,并配合集液槽回收利用,即使出现硅液溢流状况,也会由于集液槽的集液以及卡块的阻断而避免硅液进入铸锭炉,有效确保了铸锭炉的操作安全性以及减少资源浪费。 | ||
搜索关键词: | 多晶 铸锭 坩埚 组件 | ||
【主权项】:
一种多晶硅铸锭炉的坩埚组件,所述铸锭炉包括:炉体,所述炉体上设置有抽气孔,所述炉体内设置有保温护罩,所述保温护罩内设置有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩、对应所述石墨护罩的顶部加热器及侧部加热器以及位于所述石墨护罩底部的散热平台,所述顶部加热器与侧部加热器由安装在所述炉体顶部的外部加热铜电极控制以实现对石墨护罩顶部及侧部的外部加热,所述保温护罩及散热平台通过设置在所述炉体底部的石墨支柱来支撑,所述散热平台支撑所述石墨护罩,所述石墨护罩的底板支撑所述坩埚,其特征在于:所述石墨护罩包括设置在所述坩埚侧部的石墨侧板,以及设置在所述坩埚底部的石墨底板,所述石墨侧板通过长度方向的卡槽与所述石墨底板周向凸出的卡块卡合连接;所述石墨底板上位于周向的卡块内侧设置有集液槽。
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