[实用新型]多晶硅铸锭炉的坩埚组件

权利要求书

1.一种多晶硅铸锭炉的坩埚组件，所述铸锭炉包括：炉体，所述炉体上设置有抽气孔，所述炉体内设置有保温护罩，所述保温护罩内设置有坩埚、对应所述坩埚的石墨护罩、对应所述石墨护罩的顶部加热器及侧部加热器以及位于所述石墨护罩底部的散热平台，所述顶部加热器与侧部加热器由安装在所述炉体顶部的外部加热铜电极控制以实现对石墨护罩顶部及侧部的外部加热，所述保温护罩及散热平台通过设置在所述炉体底部的石墨支柱来支撑，所述散热平台支撑所述石墨护罩，所述石墨护罩的底板支撑所述坩埚，其特征在于：

所述石墨护罩包括设置在所述坩埚侧部的石墨侧板，以及设置在所述坩埚底部的石墨底板，所述石墨侧板通过长度方向的卡槽与所述石墨底板周向凸出的卡块卡合连接；

所述石墨底板上位于周向的卡块内侧设置有集液槽。

2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉的坩埚组件，其特征在于，所述集液槽呈方形环状，所述集液槽的外侧壁沿高度方向与所述石墨侧板的内侧壁平齐，所述集液槽的内径小于所述坩埚的外径。

3.根据权利要求2所述的多晶硅铸锭炉的坩埚组件，其特征在于，所述集液槽的深度小于所述石墨底板厚度的二分之一。