[实用新型]一种应用于ALD设备的浪涌电流抑制电路有效
| 申请号： | 201621303384.5 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN206226002U | 公开（公告）日： | 2017-06-06 |
| 发明（设计）人： | 吕燚;石世光;骆昊 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学中山学院 |
| 主分类号： | H02H9/02 | 分类号： | H02H9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 528402 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种应用于ALD设备的浪涌电流抑制电路，包括电源输入端、单向导通电路、预充电电阻、电子开关、门极电压缓启动电路以及电源输出端，电源输入端与单向导通电路的输入端连接，单向导通电路的输出端与预充电电阻的输入端连接，预充电电阻的输出端与电源输出端连接，单向导通电路的输出端与电子开关的第一输入端连接，电子开关的输出端与电源输出端连接，电源输入端与快速放电电路的输入端连接，快速放电电路的输出端与门极电压缓启动电路的输入端连接，门极电压缓启动电路的输出端与电子开关的第二输入端连接；与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果浪涌电流抑制效果好，能满足频繁上电断电时的浪涌抑制要求；浪涌电流阈值易于配置；相对于集成IC方案具有成本低，可替换型号多，采购方便的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 ald 设备 浪涌 电流 抑制 电路 | ||
【主权项】：
一种应用于ALD设备的浪涌电流抑制电路，包括电源输入端、单向导通电路、预充电电阻、电子开关、门极电压缓启动电路以及电源输出端，电源输入端与单向导通电路的输入端连接，单向导通电路的输出端与预充电电阻的输入端连接，预充电电阻的输出端与电源输出端连接，单向导通电路的输出端与电子开关的第一输入端连接，电子开关的输出端与电源输出端连接，电源输入端与快速放电电路的输入端连接，快速放电电路的输出端与门极电压缓启动电路的输入端连接，门极电压缓启动电路的输出端与电子开关的第二输入端连接。
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