[实用新型]一种三维调整机构有效
| 申请号： | 201621303286.1 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN206450879U | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | 袁伟杰;姜玉涛 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/00 | 分类号： | G02B7/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种三维调整机构，包括器件安装座、平移支座、固定支座、Z向调节组件和XY向调节组件，待调整器件安装于所述器件安装座，所述器件安装座安装于所述平移支座内，所述平移支座容置于所述固定支座内侧，且通过所述XY向调节结构实现其相对于所述固定支座的沿X向和Y向的位置，所述固定支座固定在一固定平台上，且通过设在所述固定支座外侧的Z向调节组件调节其相对于所述固定平台的沿Z向的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三维 调整 机构 | ||
【主权项】：
一种三维调整机构，其特征在于：包括器件安装座、平移支座、固定支座、Z向调节组件和XY向调节组件，待调整器件安装于所述器件安装座，所述器件安装座安装于所述平移支座内，所述平移支座容置于所述固定支座内，且通过所述XY向调节组件调节其相对于所述固定支座的沿X向和Y向的位置，所述固定支座固定在一固定平台上，且通过设置在所述固定支座外侧的Z向调节组件调节其相对于所述固定平台的沿Z向的位置。
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