[实用新型]一种三维调整机构有效
申请号: | 201621303286.1 | 申请日: | 2016-11-30 |
公开(公告)号: | CN206450879U | 公开(公告)日: | 2017-08-29 |
发明(设计)人: | 袁伟杰;姜玉涛 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备有限公司 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人: | 屈蘅,李时云 |
地址: | 201203 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 三维 调整 机构 | ||
技术领域
本实用新型提供了一种三维调整机构。
背景技术
光纤作为一种精密的光学元器件,其主要作用是为整个系统传输光束,使光束传输到需要的位置上。所以,光纤的安装、固定与调整,起着十分重要的作用。
目前的精密仪器调整结构中,多采用组合滑台的形式实现二维及三维调节,滑台成本较高,结构复杂,体积较为庞大,占用空间较多,不满足空间要求。而在光刻设备中,空间结构要求都比较紧凑,因此对调整机构的外形体积有所限制。且滑台调整过程中不完全是平面接触,易对倾斜造成影响,锁紧过程易引入锁紧误差,不满足稳定性的要求。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是如何简单、安全、稳定地实现光纤的三维位置调整。
为了解决这一技术问题,本实用新型提供了一种三维调整机构,包括器件安装座、平移支座、固定支座、Z向调节组件和XY向调节组件,待调整器件安装于所述器件安装座,所述器件安装座安装于所述平移支座内,所述平移支座容置于所述固定支座内,且通过所述XY向调节组件调节其相对于所述固定支座的沿X向和Y向的位置,所述固定支座固定在一固定平台上,且通过设置在所述固定支座外侧的Z向调节组件调节其相对于所述固定平台的沿Z向的位置。
可选的,所述Z向调节组件包括Z向调节螺钉和Z向弹簧,所述Z向调节螺钉沿Z向穿过所述Z向弹簧后将所述固定支座固定在所述固定平台上。
可选的,所述XY向调节组件包括X向调节螺钉、Y向调节螺钉、X向弹簧、Y向弹簧、X向导向螺钉及Y向导向螺钉,所述X向调节螺钉沿X负方向穿设于所述固定支座内与所述平移支座接触,所述X向弹簧沿X正方向穿设于所述固定支座内与所述平移支座接触,并通过所述X向导向螺钉固定;所述Y向调节螺钉沿Y负方向穿设于所述固定支座内与所述平移支座接触,所述Y向弹簧沿Y正方向穿设于所述固定支座内与所述平移支座接触,并通过所述Y向导向螺钉固定。
可选的,所述固定支座与所述固定平台采用孔轴配合安装。
可选的,所述三维调整机构还包括夹紧安装座,所述夹紧安装座在夹紧状态下夹紧于所述固定支座的外侧,且与所述固定平台锁紧连接。
可选的,所述夹紧安装座包括第一座体和第二座体,沿Z向设置的第一锁紧螺钉连接所述第一座体和第二座体后固定在所述固定平台上,所述第一座体和第二座体之间通过沿垂直于Z向的方向设置的第二锁紧螺钉实现夹紧。
可选的,所述平移支座端面设有环形槽,所述器件安装座安装于所述环形槽内,并通过一压圈压紧固定。
可选的,所述平移支座通过沿Z向设置的第三锁紧螺钉与所述固定支座连接。
可选的,所述第三锁紧螺钉与平移支座之间还设有弹性垫片。
可选的,所述待调整器件为光纤。
可选的,所述光纤沿Z向穿设安装于所述器件安装座。
本实用新型提出了一种三维调整机构,其占用空间小,结构简单,调整完全解耦,能够满足空间及稳定性要求。具体来说,具有以下优点:
1、本实用新型的调整机构可以做到X、Y、Z向调整完全解耦,不会相互影响;
2、本实用新型的调整机构在调整过程中不会引入锁紧误差;
3、本实用新型的调整机构结构简单,占用空间小,可以实现较小空间内器件的三维调整。
附图说明
图1是本实用新型一可选实施例中三维调整机构的结构示意图;
图2是本实用新型一可选实施例中三维调整机构的竖剖面示意图;
图3是本实用新型一可选实施例中三维调整机构的横剖面示意图;
图中,1-夹紧安装座;2-平移支座;3-第三锁紧螺钉;4-弹性垫片;5-固定支座;6-第一锁紧螺钉;7-第二锁紧螺钉;8-光纤;9-器件安装座;10-压圈; 11-Z向调节螺钉;12-Z向弹簧;13a-X向导向螺钉;14a-X向弹簧;15a-X向调节螺钉;13b-Y向导向螺钉;14b-Y向弹簧;15b-Y向调节螺钉;16-环形槽。
具体实施方式
以下将结合图1至图3对本实用新型提供的三维调整机构进行详细的描述,其为本实用新型可选的实施例,可以认为,本领域技术人员在不改变本实用新型精神和内容的范围内,对其进行修改和润色。
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