[实用新型]一种用于多晶硅太阳能电池片背表面刻蚀的蚀刻装置

摘要

本实用新型涉及太阳能电池片技术领域，具体为一种用于多晶硅太阳能电池片背表面刻蚀的蚀刻装置，包括蚀刻槽，所述蚀刻槽的槽体呈矩形状，所述蚀刻槽靠底部的位置设有匀流板，所述匀流板包括呈水平平铺状的中心板以及四块与所述中心板四个边角分别固定连接并向斜上方倾斜的边角倾斜板，所述匀流板的下方配有鼓泡气管，所述鼓泡气管连接有鼓泡设备，所述中心板和边角倾斜板上均开设有与所述鼓泡气管相配合的鼓泡通孔，结构稳定、工作效率高、蚀刻效果好。

主权项

一种用于多晶硅太阳能电池片背表面刻蚀的蚀刻装置，其特征在于：包括蚀刻槽（1），所述蚀刻槽（1）的槽体呈矩形状，所述蚀刻槽（1）靠底部的位置设有匀流板（2），所述匀流板（2）包括呈水平平铺状的中心板（21）以及四块与所述中心板（21）四个边角分别固定连接并向斜上方倾斜的边角倾斜板（22），所述匀流板（2）的下方配有鼓泡气管（3），所述鼓泡气管（3）连接有鼓泡设备，所述中心板（21）和边角倾斜板（22）上均开设有与所述鼓泡气管（3）相配合的鼓泡通孔（4）。