[实用新型]一种微波热压烧结设备

摘要

本实用新型涉及一种微波热压烧结设备，属于微波装置技术领域。该微波热压烧结设备，包括炉体、多晶莫来石保温套筒、热压炉柜、循环水分水器、机架、碳化硅套筒、热压装置、微波发生装置、抽真空装置和通气装置，热压炉柜表面设有机架，机架上设有炉体，炉体为双层结构，炉体的中间层底部与循环水分水器连通，炉体内部设有热压装置，炉体外壁上设有微波发生装置，炉体底部依次连接气体泵和气体流量表，炉体连接真空泵。本实用新型采用微波作为加热源，碳化硅套筒作为加热元器件，能够实现热压烧结炉内温度的快速升温，与常规热压烧结炉相比，能够简化设备，提高加热效率，改善材料制备品质，具有广泛推广性。

主权项

一种微波热压烧结设备，其特征在于：包括炉体（2）、多晶莫来石保温套筒（3）、热压炉柜（5）、循环水分水器（6）、机架（9）、碳化硅套筒（12）、热压装置、微波发生装置、抽真空装置和通气装置，所述热压装置包括上部压力杆（1）、下部压力杆（7）、液压泵（8）、固定压力杆（10）、模具（11）和垫块（20），微波发生装置包括红外测温仪（4）、热电偶（13）、矩形波导管（14）、微波源（15）、控制柜（19）、三螺钉匹配器（23）、微波功率测量仪（24）和微波水负载（25），抽真空装置包括真空泵（16），通气装置包括气体泵和气体流量表（17），热压炉柜（5）表面设有机架（9），机架（9）上设有炉体（2），炉体（2）为双层结构，炉体（2）的中间层底部与循环水分水器（6）连通，炉体（2）内部设有从外至内依次设有多晶莫来石保温套筒（3）和碳化硅套筒（12），碳化硅套筒（12）内部设有模具（11），模具（11）底部依次连接下部压力杆（7）和液压泵（8），炉体（2）顶盖且位于模具（11）正上方设有固定压力杆（10），固定压力杆（10）下方设有垫块（20），机架（9）顶部且位于固定压力杆（10）正上方通过螺母设有上部压力杆（1），上部压力杆（1）与固定压力杆（10）配合使用，炉体（2）内部设有红外测温仪（4），碳化硅套筒（12）内部设有热电偶（13），炉体（2）外壁上均匀设有矩形波导管（14），矩形波导管（14）依次连接三螺钉匹配器（23）和微波源（15），微波源（15）包括微波功率测量仪（24）和微波水负载（25），红外测温仪（4）、热电偶（13）、微波源（15）连接控制柜（19），炉体（2）底部依次连接气体泵和气体流量表（17），炉体（2）连接真空泵（16）。