[实用新型]研磨头结构及化学机械研磨装置有效
| 申请号： | 201621248207.1 | 申请日： | 2016-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN206200737U | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 冯庆安;张连伯;马冬;邱云光 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27;B24B37/34;B24B37/10 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 300385 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种研磨头结构及化学机械研磨装置，在外壳的上表面设置有多个导流孔，在所述外壳内设置有多个通道，在所述外壳的侧壁上设置有多个通道出口；所述通道导通所述导流孔和所述通道出口；在对化学机械研磨装置进行清洗之后，残留在研磨头外壳上的水能够通过导流孔及通道流至研磨垫上，经过处理之后再开始进行化学机械研磨，从而避免了在研磨过程中外壳上的水流到研磨垫上对研磨液造成影响，从而提高了研磨的效果；并且，由于外壳上的水能够及时的排出，从而防止在研磨过程中外壳上水的流出带来的结晶或颗粒，减少了由此产生的划伤等不良。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 结构 化学 机械 装置 | ||
【主权项】：
一种研磨头结构，包括研磨头以及位于所述研磨头顶部的外壳，其特征在于，在所述外壳的上表面设置有多个导流孔，在所述外壳内设置有多个通道，在所述外壳的侧壁上设置有多个通道出口；所述通道导通所述导流孔和所述通道出口。
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