[实用新型]基板翻转装置及具备其的化学机械研磨系统有效
| 申请号： | 201621206526.6 | 申请日： | 2016-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN206527637U | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 金海率 | 申请（专利权）人： | K.C.科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京冠和权律师事务所11399 | 代理人： | 朱健 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基板翻转装置及具备其的化学机械研磨系统，用于化学机械研磨工艺的基板翻转装置包括可动组件，其以可靠近及离开基板被卸载的卸载位置的形式设置；夹紧组件，其连接于可动组件并夹紧基板，并且夹紧组件有选择地靠近及离开卸载位置，从而不仅可以缩短基板的移送路径，还可以提高安全性及可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 翻转 装置 具备 化学 机械 研磨 系统 | ||
【主权项】：
一种基板翻转装置，其用于化学机械研磨工艺，所述基板翻转装置的特征在于，包括：可动组件，其以可靠近及离开基板被卸载的卸载位置的形式设置；夹紧组件，其连接于所述可动组件并夹紧所述基板；所述夹紧组件有选择地靠近及离开所述卸载位置。
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