[实用新型]一种适用于太阳能电池片的背部掩膜装置及其组件有效
| 申请号： | 201621160159.0 | 申请日： | 2016-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN206134708U | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 韩少鹏;郑旭然;潘励刚;姜大俊;杨超;邢国强 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L31/0224;C23C16/44 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于太阳能电池片的背部掩膜装置，其包括至少覆盖硅片背面边缘的掩膜本体，所述掩膜本体覆盖硅片背面边缘的宽度不小于20mm，复数个所述掩膜本体等间距拼接构成掩膜组件。本实用新型能够避免板式PECVD镀膜过程中电池片背部绕射SiN，同时解决由于SiN绕射引起的铝背场掉粉、铝背场边角脱落等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 太阳能电池 背部 装置 及其 组件 | ||
【主权项】：
一种适用于太阳能电池片的背部掩膜装置，其特征在于：其包括至少覆盖硅片背面边缘的掩膜本体，所述掩膜本体覆盖硅片背面边缘的宽度不小于20mm。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
