[实用新型]光罩检测装置

摘要

本实用新型公开了一种光罩检测装置，其包含检测基座、移动平台、转动平台、承载平台、发光单元、雷射测距模块、处理模块及影像撷取模块。移动平台设于检测基座上，且沿检测基座作第一方向的位移。转动平台设于移动平台之上，且沿移动平台作第二方向的位移。承载平台设于转动平台的一面上，承载平台承载光罩，光罩包含基板及多边形框架，多边形框架设于基板的一面上。发光单元设于支架的一侧。雷射测距模块设于支架的一侧。处理模块控制移动平台移动。影像撷取模块采集对应测距信号的检测区域的检测影像。其中，转动平台会转动默认角度，使影像撷取模块采集另一内壁面的若干个检测区域的若干个检测影像。

主权项

一种光罩检测装置，其特征在于包含：检测基座，所述检测基座一面上设有支架；沿所述检测基座作第一方向的位移的移动平台，设于所述检测基座的所述面上，且位于所述检测基座与所述支架之间；沿所述移动平台作垂直所述第一方向的第二方向的位移的转动平台，设于所述移动平台之上；承载平台，设于所述转动平台的一面上，所述承载平台承载光罩，所述光罩包含基板与多边形框架，所述多边形框架设于所述基板的一面上；照射所述光罩的发光单元，设于所述支架的一侧；测量所述多边形框架的若干个内壁面的若干个检测区域，且对应各个检测区域产生测距信号的雷射测距模块，设于所述支架的一侧；依据测距信号控制所述移动平台移动的处理模块，连结所述移动平台及所述雷射测距模块；以及，当所述移动平台移动后，采集对应测距信号的检测区域的检测影像，且所述处理模块是依据检测影像产生检测信息的影像撷取模块，设于所述支架的一侧并连结所述处理模块；其中，当所述影像撷取模块采集完其中一个内壁面的若干个检测区域的若干个检测影像之后，所述转动平台转动一个预设角度，使所述影像撷取模块采集另一个内壁面的若干个检测区域的若干个检测影像。