[实用新型]杆的弯曲度测量装置

摘要

本实用新型公开了一种杆的弯曲度测量装置，包括光源、与所述光源相连接的光纤耦合器、以及分别与所述光纤耦合器的另三个端口相连接的参考端、样品端和数据采集及处理装置；本实用新型利用待测杆表面上的点为凸起或凹陷时与平整的点所对应的深度值不相等而引起低相干干涉信号强度不同的原理对杆的弯曲度进行检测，样品端设置光开关阵列准直装置，可使多条测量光束依次通过待测杆表面的各个位置，大大提高了检测的效率，取样多点化使数据更全面，数据采集及处理装置自动记录干涉的图像信号并拟合出三维图像而获得弯曲度信息，测量时无需接触到待测杆，可避免因接触对待测杆造成的损伤，检测精度高可达微米级别。

主权项

一种杆的弯曲度测量装置，其特征在于：包括光源、与所述光源相连接的光纤耦合器、以及分别与所述光纤耦合器的另三个端口相连接的参考端、样品端和数据采集及处理装置；光源为低相干光；光纤耦合器为2×2光纤耦合器，用于将所述光源发射出的光束分成一个测量光束和一个参考光束；所述参考端用于所述参考光束的传播，包括光学中心设置在同一直线上的第一准直镜、第一凸透镜和反射镜，反射镜固定在反射镜固定装置上，所述参考光束经第一准直镜准直后变成平行光，再通过第一凸透镜会聚后射到反射镜上再被反射回来；所述样品端用于所述测量光束的传播，包括光开关阵列准直装置、待测杆以及分别带动待测杆旋转运动和前后移动的旋转电机和步进电机，所述待测杆的表面与光开关阵列准直装置射出的光束垂直，所述测量光束经光开关阵列准直装置准直后分成多路等光程的光依次射到待测杆的表面；所述数据采集及处理装置用于采集和处理所述参考光束和测量光束分别在参考端和样品端中反射回来后再在所述光纤耦合器中结合所产生干涉光的图像信号，包括第二凸透镜、衍射光栅、第三凸透镜、线阵相机和电脑，所述样品端中测量光束的反射光和参考端中参考光束的反射光在光纤耦合器中产生干涉光，第二凸透镜将干涉光变成平行光，再由衍射光栅进行分光处理，接着经过第三凸透镜使线阵相机接收并采集干涉光的信号，电脑对采集到的信号进行处理。