[实用新型]一种单晶炉及其水冷组件有效
| 申请号： | 201621130590.0 | 申请日： | 2016-10-18 |
| 公开（公告）号： | CN206308444U | 公开（公告）日： | 2017-07-07 |
| 发明（设计）人： | 刘英江;赵京通;李永哲;李润飞;张松;高志民 | 申请（专利权）人： | 河北晶龙阳光设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙)11548 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 055550 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种单晶炉及其水冷组件，其包括上炉室、下炉室和位于下炉室内的加热系统，还包括设置于上炉室内的上水冷套和设置于下炉室内的下水冷套；上水冷套包括上法兰以及与上法兰焊接的带有夹层的筒体，下水冷套包括下法兰、带有夹层的锥形筒、用于连接下法兰与锥形筒的支撑管和两个水冷管，本实用新型的单晶炉内水冷组件，冷却水通过上水冷套及下水冷套带走热系统内部多余的热量，改善热场内部的温度梯度，降低结晶面处的温度，有效提高晶体长晶速度，进而提高产品产能，降低单位生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉 及其 水冷 组件 | ||
【主权项】：
一种单晶炉，其包括上炉室(1)、下炉室(2)和位于所述下炉室(2)内的加热系统(3)，其特征在于，还包括设置于所述上炉室内的上水冷套(4)和设置于所述下炉室内的下水冷套(5)；所述上水冷套(4)包括上法兰(41)以及与所述上法兰(41)焊接的带有夹层的筒体(42)，所述上法兰(41)内开设与所述筒体(42)的夹层相通的上进水口(43)和上回水口(44)；所述下水冷套(5)包括下法兰(51)、带有夹层的锥形筒(52)、用于连接所述下法兰(51)与锥形筒(52)的支撑管(53)和两个水冷管(54)，所述下法兰(51)内开设有下进水口(55)和下回水口(56)，所述下进水口(55)和所述下回水口(56)分别通过水冷管(54)与所述锥形筒(52)的夹层相连通；所述上法兰(41)安装于所述上炉室(1)的上法兰上，所述下法兰(51)安装于所述上炉室(1)下法兰和下炉室(2)的上法兰之间。
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