[实用新型]压电驱动大行程无耦合二维精密微定位平台有效
申请号: | 201621081124.8 | 申请日: | 2016-09-27 |
公开(公告)号: | CN206210399U | 公开(公告)日: | 2017-05-31 |
发明(设计)人: | 孙凤;陆鹤;徐方超;金俊杰 | 申请(专利权)人: | 沈阳工业大学 |
主分类号: | G12B5/00 | 分类号: | G12B5/00 |
代理公司: | 沈阳智龙专利事务所(普通合伙)21115 | 代理人: | 周智博,宋铁军 |
地址: | 110870 辽宁省沈*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 一种压电驱动大行程无耦合二维精密微定位平台,其特征在于该平台包括外层支座、菱形位移放大机构、压电陶瓷驱动器、对称长臂铰链、内层基板和工作台;本实用新型设计了新型菱形放大机构,来解决压电陶瓷驱动器输出位移较小的问题。菱形放大机构是实用新型设计的核心部分,对其深入的优化分析有利于提高整个微位移工作台的工作精度。 | ||
搜索关键词: | 压电 驱动 行程 耦合 二维 精密 定位 平台 | ||
【主权项】:
一种压电驱动大行程无耦合二维精密微定位平台,其特征在于:该平台包括外层支座(1)、菱形位移放大机构、压电陶瓷驱动器、对称长臂铰链、内层基板(5)和工作台(6);工作台(6)嵌套在内层基板(5)上,工作台(6)的Y向一端通过Y向对称长臂铰链(4‑1)连接内层基板(5),工作台(6)的Y向另一端通过Y向菱形位移放大机构连接内层基板(5);内层基板(5)嵌套在外层支座(1)上,内层基板(5)的X方向的一端通过X方向长臂铰链(4‑2)连接外层支座(1),内层基板(5)的X方向的另一端通过X方向菱形位移放大机构(2‑1)连接外层支座(1);压电陶瓷驱动器(3)设置在每个菱形位移放大机构中间,压电陶瓷驱动器(3)顶住菱形位移放大机构内部凸缘(7)。
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