[实用新型]一种洁净舱室循环系统

摘要

本实用新型涉及空气净化技术领域，公开了一种洁净舱室循环系统，包括洁净舱室、风机、压差传感器、粒子监控器、逻辑控制器和第一过滤器，压差传感器的输出端与逻辑控制器的压差检测端连接，逻辑控制器的压差控制端与风机的转速输入端连接，逻辑控制器通过控制风机的转速来调节洁净舱室内部的压力，将洁净舱室内部的压力控制在一定的范围内；外此，粒子监控器的输出端与逻辑控制器的粒子浓度检测端连接，逻辑控制器的粒子浓度控制端与第一过滤器的转速输入端连接，逻辑控制器通过控制第一过滤器的转速来调节洁净舱室内的粒子浓度，将洁净舱室的粒子浓度也控制在一定范围内，从而实现了洁净舱室的洁净，降低了洁净舱室的功率损耗。

主权项

一种洁净舱室循环系统，其特征在于，包括洁净舱室、风机、压差传感器、粒子监控器、逻辑控制器和第一过滤器；所述风机设于所述洁净舱室的外部，所述洁净舱室设有排风口和进风口，所述风机的出风口与所述洁净舱室的进风口连通；所述洁净舱室的进风口设有所述第一过滤器；所述压差传感器设于所述洁净舱室的内部，所述压差传感器的输出端与所述逻辑控制器的压差检测端连接，所述逻辑控制器的压差控制端与所述风机的转速输入端连接；所述粒子监控器设于所述洁净舱室的内部，所述粒子监控器的输出端与所述逻辑控制器的粒子浓度检测端连接，所述逻辑控制器的粒子浓度控制端与所述第一过滤器的转速输入端连接。