[实用新型]一种激光干涉仪的角度测量校准装置及系统有效
| 申请号： | 201621011800.4 | 申请日： | 2016-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN205879111U | 公开（公告）日： | 2017-01-11 |
| 发明（设计）人： | 申请（专利权）人： | ||
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙)44248 | 代理人： | 温玉珍 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种激光干涉仪的角度测量校准装置及系统，所述激光干涉仪的角度测量校准装置包括：激光头、角度干涉镜、角度反射镜、转台上盘、转台下盘和转台底座，所述角度干涉镜设置于所述激光头和角度反射镜之间，所述角度反射镜设置于所述转台上盘上，所述转台上盘设置于所述转台下盘上；所述转台底座设置有凹槽，所述转台下盘通过凹槽设置于所述转台底座上。本实用新型结构精密，标准角度误差小，能够通过主动生成一定偏角来校准初始零位角，所述偏角可以通过角度光栅和驱动构件来主动生成，该生成的角度较为精确；在此基础上，在校准的过程中还能够同时校准初始零位误差和角度反射镜的常数，简化了激光干涉仪的校准步骤，提高了校准效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 干涉仪 角度 测量 校准 装置 系统 | ||
【主权项】：
一种激光干涉仪的角度测量校准装置，其特征在于，包括：激光头、角度干涉镜、角度反射镜、转台上盘、转台下盘和转台底座，所述角度干涉镜设置于所述激光头和角度反射镜之间，所述角度反射镜设置于所述转台上盘上，所述转台上盘设置于所述转台下盘上；所述转台底座设置有凹槽，所述转台下盘通过凹槽设置于所述转台底座上。
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