[实用新型]一种多功能多晶硅坩埚模具有效
申请号: | 201620983894.5 | 申请日: | 2016-08-30 |
公开(公告)号: | CN206127479U | 公开(公告)日: | 2017-04-26 |
发明(设计)人: | 钟伟;陆文研 | 申请(专利权)人: | 无锡舜阳新能源科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙)32247 | 代理人: | 王明亮 |
地址: | 214400 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及机械模具领域,公开了一种多功能多晶硅坩埚模具,包括坩埚壳体、坩埚隔板和坩埚盖体,坩埚壳体为敞口式壳体,坩埚隔板是数量为2个,坩埚隔板水平设置于坩埚壳体内部,并将坩埚壳体由下到上分隔为第一空腔、第二空腔和第三空腔,坩埚盖体位于坩埚壳体上端,第二空腔内设有加热系统和用于控制和调节加热系统温度的控制器,坩埚盖体上连接有加压管道和排气管道,加压管道和排气管道均于第一空腔和第三空腔相连通,坩埚壳体内壁上由内到外依次设有保温层、防火层和耐磨层;本实用新型采用坩埚隔板结构设计,对坩埚加压有利于原材料快速成型,结构合理,实用性强,自动化程度高。 | ||
搜索关键词: | 一种 多功能 多晶 坩埚 模具 | ||
【主权项】:
一种多功能多晶硅坩埚模具,其特征在于,包括坩埚壳体(1)、坩埚隔板(2)和坩埚盖体(3),所述坩埚壳体(1)为敞口式壳体,所述坩埚隔板(2)是数量为2个,所述坩埚隔板(2)水平设置于所述坩埚壳体(1)内部,并将所述坩埚壳体(1)由下到上分隔为第一空腔(4)、第二空腔(5)和第三空腔(6),所述坩埚盖体(3)位于所述坩埚壳体(1)上端,所述第二空腔(5)内设有加热系统和用于控制和调节加热系统温度的控制器,所述坩埚盖体(3)上连接有加压管道(7)和排气管道(8),所述加压管道(7)和所述排气管道(8)均于第一空腔(4)和第三空腔(6)相连通,所述坩埚壳体(1)内壁上由内到外依次设有保温层、防火层和耐磨层。
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