[实用新型]一种多功能多晶硅坩埚模具

权利要求书

1.一种多功能多晶硅坩埚模具，其特征在于，包括坩埚壳体（1）、坩埚隔板（2）和坩埚盖体（3），所述坩埚壳体（1）为敞口式壳体，所述坩埚隔板（2）是数量为2个，所述坩埚隔板（2）水平设置于所述坩埚壳体（1）内部，并将所述坩埚壳体（1）由下到上分隔为第一空腔（4）、第二空腔（5）和第三空腔（6），所述坩埚盖体（3）位于所述坩埚壳体（1）上端，所述第二空腔（5）内设有加热系统和用于控制和调节加热系统温度的控制器，所述坩埚盖体（3）上连接有加压管道（7）和排气管道（8），所述加压管道（7）和所述排气管道（8）均于第一空腔（4）和第三空腔（6）相连通，所述坩埚壳体（1）内壁上由内到外依次设有保温层、防火层和耐磨层。

2.根据权利要求1所述的多功能多晶硅坩埚模具，其特征在于，所述坩埚隔板（2）尺寸比所述坩埚壳体（1）内壁尺寸小1-2mm。

3.根据权利要求1所述的多功能多晶硅坩埚模具，其特征在于，所述坩埚盖体（3）内径等于所述坩埚壳体（1）外径。

4.根据权利要求2或3所述的多功能多晶硅坩埚模具，其特征在于，所述加压管道（7）和所述排气管道（8）分别设于所述坩埚盖体（3）两侧。

5.根据权利要求4所述的多功能多晶硅坩埚模具，其特征在于，所述坩埚隔板（2）和坩埚盖体（3）上均设有手柄。

6.根据权利要求4所述的多功能多晶硅坩埚模具，其特征在于，所述坩埚隔板（2）为高导热性隔板。