[实用新型]抽真空系统有效
| 申请号： | 201620902333.8 | 申请日： | 2016-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN206017139U | 公开（公告）日： | 2017-03-15 |
| 发明（设计）人： | 张新泉;吴航;张军;刘鹏 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰集成电路有限公司 |
| 主分类号： | F04C19/00 | 分类号： | F04C19/00;F04C25/02;F04C28/00 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司11449 | 代理人： | 蔡纯,张靖琳 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 公开了一种抽真空系统。所述抽真空系统包括储液箱、液环真空泵、以及加液系统，其中，所述液环真空泵包括工作液入口和工作液出口，所述工作液入口和所述工作液出口分别与所述储液箱连接，所述加液系统设置在所述储液箱上，用于向所述储液箱内加入工作液。根据本实用新型的抽真空系统，通过设置储液箱并将所述液环真空泵的工作液入口和工作液出口分别与所述储液箱连接而实现工作液的循环，从而达到节约工作液的目的，并且避免了液环真空泵直接连接工作液管道时受到的管网压力的影响，使得其提供的真空度更加稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 系统 | ||
【主权项】：
一种抽真空系统，其特征在于，包括：储液箱；液环真空泵，包括工作液入口和工作液出口，所述工作液入口和所述工作液出口分别与所述储液箱连接；以及加液系统，所述加液系统设置在所述储液箱上，用于向所述储液箱内加入工作液。
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