[实用新型]一种用于饱和石墨舟的夹具有效
| 申请号： | 201620855996.9 | 申请日： | 2016-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN205944057U | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 张春华;陈佳男;衡阳;郑旭然;李栋;邢国强 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 张海英,林波 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于饱和石墨舟的夹具；其包括本体，本体包括三个盖体，每两个盖体之间均通过连接杆固定连接，三个盖体分别与石墨舟片的承载位旁的三个卡点相对应，盖体在靠近卡点的端面设置有与卡点相配合的凹槽，饱和石墨舟时，凹槽与卡点相配合，盖体靠近卡点的端面与石墨舟片的表面紧密贴合；本实用新型的夹具结构简单，其盖体上的凹槽与卡点相配合，对卡点起到保护作用，可以避免卡点在饱和石墨舟时沉积氮化硅，以增加石墨舟的镀膜使用次数，减少清洗次数，降低了清洗费用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 饱和 石墨 夹具 | ||
【主权项】：
一种用于饱和石墨舟的夹具，包括本体，其特征在于，所述本体包括三个盖体(1)，每两个所述盖体(1)之间均通过连接杆(2)固定连接，三个所述盖体(1)分别与石墨舟片(20)的承载位旁的三个卡点(30)相对应，所述盖体(1)在靠近所述卡点(30)的端面设置有与所述卡点(30)相配合的凹槽(11)，饱和石墨舟时，所述凹槽(11)与所述卡点(30)相配合，所述盖体(1)靠近所述卡点(30)的端面与所述石墨舟片(20)的表面紧密贴合。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州阿特斯阳光电力科技有限公司，未经苏州阿特斯阳光电力科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201620855996.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
