[实用新型]一种环境传感器有效
| 申请号： | 201620806217.6 | 申请日： | 2016-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN205981240U | 公开（公告）日： | 2017-02-22 |
| 发明（设计）人： | 周宗燐;詹竣凯;邱冠勋;蔡孟锦 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/241 | 分类号： | G01D5/241 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人： | 王昭智,马佑平 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种环境传感器，在所述衬底上还设置有至少一个参考电容器、至少一个检测电容器；其中，所述检测电容器包括检测固定电极以及与外界环境连通的检测敏感膜，所述检测敏感膜与衬底之间形成了密封的第一腔体；所述参考电容器包括参考固定电极、参考敏感膜，所述参考敏感膜与衬底之间形成了密封的第二腔体；所述第一腔体与第二腔体连通；还包括用于隔绝参考敏感膜与外界环境的盖体，所述盖体与参考敏感膜围成了密封的第三腔体；所述第一腔体、第二腔体、第三腔体为非真空环境。本实用新型的环境传感器，检测电容器与参考电容器可以构成真正意义上的差分电容结构，提高了环境传感器的检测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 环境 传感器 | ||
【主权项】：
一种环境传感器，其特征在于：包括衬底(1)，在所述衬底(1)上还设置有至少一个参考电容器、至少一个检测电容器；其中，所述检测电容器包括检测固定电极(9)以及与外界环境连通的检测敏感膜(11)，所述检测敏感膜(11)与衬底(1)之间形成了密封的第一腔体(10)；所述参考电容器包括参考固定电极(6)、参考敏感膜(7)，所述参考敏感膜(7)与衬底(1)之间形成了密封的第二腔体(8)；所述第一腔体(10)与第二腔体(8)连通；还包括用于隔绝参考敏感膜(7)与外界环境的盖体，所述盖体与参考敏感膜(7)围成了密封的第三腔体(12)；所述第一腔体(10)、第二腔体(8)、第三腔体(12)为非真空环境。
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