[实用新型]一种滚轮气浮混合式传送装置

摘要

本实用新型公开了一种滚轮气浮混合式传送装置，属于半导体微电子、平板显示及光电子技术领域，包括气浮支承机构、滚轮传送机构、驱动传动机构、检测传感元件以及支承框架，气浮支承机构提供支承工件的非接触的作用力，滚轮传送机构和驱动传动机构提供传送的动力并起到支承作用，检测传感元件在装置整个传送行程中检测工件，保证工件有效到达每一个位置且能被监测到，支承框架起到支承整个装置的作用。本实用新型使薄板类工件、特种板类工件在传送中与传送面工艺区无摩擦，减少工件传送振动，大幅度提高了易碎工件、薄板工件以及特种板类工件良品率，同时节约气浮传送装置制造成本，提高投资回报率。

主权项

一种滚轮气浮混合式传送装置，其特征在于，所述传送装置包括:支承框架、气浮支承机构、滚轮传送机构及驱动传动机构；所述支承框架包括两个传送立板和两个底板，所述两个传送立板垂直安装在所述两个底板上；所述气浮支承机构一侧固定在气浮立支板上，所述气浮立支板的两端垂直固定在所述两个底板上；所述滚轮传送机构包括多个传动支承轴，所述传动支承轴的两端通过滚珠轴承固定在所述传送立板上，每个传动支承轴安装有两个导向支承滚轮，每个传动支承轴一端外接有一个第二磁齿轮，多个第二磁齿轮位于所述多个传动支承轴的同一侧；所述驱动传动机构包括传动轴和电机减速器组件，所述传动轴通过磁齿轮支板和滚珠轴承固定在所述传送立板的外侧，所述传动轴上安装有一个第二锥齿轮及多个第一磁齿轮，所述多个第一磁齿轮和所述多个第二磁齿轮一一对应，所述电机减速器组件通过电机连接板和电机支板固定在所述传送立板上，所述电机减速器组件上安装有一个第一锥齿轮并位于电机连接板上，所述第一锥齿轮与第二锥齿轮相配合。