[实用新型]一种纳米离化表面金属复合膜层智能化设备

摘要

本实用新型公开了一种纳米离化表面金属复合膜层智能化设备，包括镀膜真空腔体、电控柜、过渡真空腔体和料架台，料架台上设有镀膜真空腔体和过渡真空腔体，镀膜真空腔体和过渡真空腔体内均设有精抽泵、增压泵、机械泵、维持泵、数显复合真空计、进水管、出水管、进气管和出气管，镀膜真空腔体和过渡真空腔体外表面均设有伺服电机、观察窗和加强筋，过渡真空腔体外表面上设有等离子体离子源电源、混气仪和水分离器，过渡真空腔体和镀膜真空腔体的内底部设有驱动轮组和加热管道，驱动轮组上设有工件架，工件架上设有若干挂杆轴。本实用新型采用PLC控制，和远程控制，实现抽真空、表面镀膜可实现手动、半自动、全自动控制和互联网+控制。

主权项

一种纳米离化表面金属复合膜层智能化设备，包括镀膜真空腔体(3)、电控柜(47)、过渡真空腔体(1)和料架台(5)，其特征在于，所述料架台(5)上设置有所述镀膜真空腔体(3)和所述过渡真空腔体(1)，所述镀膜真空腔体(3)和所述过渡真空腔体(1)内均设置有精抽泵(23)、增压泵(24)、机械泵(25)、维持泵(28)、数显复合真空计(22)、进水管(37)、出水管(38)、进气管(39)和出气管(40)，所述镀膜真空腔体(3)和所述过渡真空腔体(1)外表面均设置有伺服电机(36)、观察窗(7)和加强筋(8)，所述过渡真空腔体(1)外表面上设置有离子源电源(31)、混气仪(35)和水分离器(34)，所述过渡真空腔体(1)和所述镀膜真空腔体(3)的内底部设置有驱动轮组(33)和加热管道(17)，所述驱动轮组(33)上设置有工件架(29)，所述工件架(29)上设置有若干挂杆轴(30)，所述加热管道(17)内设置有热电偶(18)，所述过渡真空腔体(1)内设置有离子源清洗器(41)，所述离子源清洗器(41)上设置有质量流量控制器(42)和高真空截止阀(43)，所述镀膜真空腔体(3)上设置有若干电弧电源(27)和磁控溅射中频电源(26)，所述镀膜真空腔体(3)的两侧均设置有靶座门(4)，所述靶座门(4)上设置有若干圆柱旋转磁控溅射靶(10)和电弧离子靶(9)，所述电控柜(47)内设置有控制面板(14)和PID控制器(19)，所述控制面板(14)内设置有过载保护器(13)和PLC控制器(12)，所述控制面板(14)上设置有触摸显示屏(15)和操作键盘(16)，所述电控柜(47)的顶端设置有警报器(11)，所述PID控制器(19)上设置有温度控制器(20)和固态继电器(21)。