[实用新型]一种带有偏振分束元件的自准光路系统有效
申请号: | 201620793800.8 | 申请日: | 2016-07-26 |
公开(公告)号: | CN205942120U | 公开(公告)日: | 2017-02-08 |
发明(设计)人: | 王先华;贾森;吴易明;蔡勇;肖茂森 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G02B27/28 | 分类号: | G02B27/28 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人: | 倪金荣 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型提供一种带有偏振分束元件的自准光路系统。该自准直光路系统包括在一个偏振分束元件,在该偏振分束元件的s光光路上依次设置单色光源、小孔光阑、第一准直透镜、第一十字分划板和第一偏振片,在该偏振分束元件的p光光路上依次设置1/4波片和被测物体,在该偏振分束元件的入射光光路上依次设置第二偏振片、第二十字分划板、第二准直透镜和光接收系统。本实用新型可广泛应用于高精度角度测量、角位移测量等,具有测量精度高、量程大、可静态或动态测量的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 带有 偏振 元件 准光路 系统 | ||
【主权项】:
一种带有偏振分束元件的自准光路系统,其特征在于:所述一种带有偏振分束元件的自准光路系统中的光源产生的光依次经过小孔光阑、第一准直透镜、第一十字分划板和第一偏振片,进入偏振分光棱镜产生反射后出射,经过1/4波片到被测物体后反射,再经过所述1/4波片进入所述偏振分光棱镜后透射,依次经过第二偏振片、第二十字分划板和第二准直透镜后进入光接收系统。
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