[实用新型]一种坩埚和蒸发装置有效
| 申请号： | 201620776889.7 | 申请日： | 2016-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN205839115U | 公开（公告）日： | 2016-12-28 |
| 发明（设计）人： | 关立伟 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及显示技术领域，特别涉及一种坩埚和蒸发装置。该蒸发装置包括加热装置和坩埚。该坩埚包括一端设有开口的埚体，所述埚体的内部具有与所述开口连通的腔体；沿所述埚体的延伸方向，靠近所述开口的所述腔体内设有间隔分布的至少两个隔板；所述至少两个隔板中，每个隔板设有贯穿其厚度的至少一个第一通孔，每相邻的两个隔板的第一通孔呈交错分布。该坩埚在蒸镀过程中蒸发速率稳定，能够提高蒸镀膜层的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 坩埚 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
一种坩埚，包括一端设有开口的埚体，所述埚体的内部具有与所述开口连通的腔体；其特征在于，沿所述埚体的延伸方向，靠近所述开口的所述腔体内设有间隔分布的至少两个隔板；所述至少两个隔板中，每个隔板设有贯穿其厚度的至少一个第一通孔，每相邻的两个隔板的第一通孔呈交错分布。
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