[实用新型]一种气密检测装置

摘要

本实用新型公开了一种气密检测装置，包括第一气源、第一压力传感器和第一比例伺服阀，第一气源与第一待检测物体的容腔通过第一比例伺服阀相连；第一压力传感器与第一待检测物体的容腔相连，用于检测该第一待检测物体的容腔内的压力从而判断该第一待检测物体的容腔的气密性；第一压力传感器还与第一比例伺服阀相连，用于调整该第一比例伺服阀的状态。本实用新型通过对气密检测装置的回路设计等进行改进，能够有效解决直接压力测试法准确度低、差压测试法操作不便的问题，并且该装置是通过闭环控制系统调整电‑气比例/伺服阀的开度来调整回路中气体的流量，能够对系统的气密性进行有效检测。

主权项

一种气密检测装置，其特征在于，包括第一气源、以及与该第一气源相连的第一回路，其中，所述第一回路包括第一压力传感器和第一比例伺服阀，所述第一气源与第一待检测物体的容腔通过所述第一比例伺服阀相连，所述第一气源用于向所述第一待检测物体的容腔通入气体；该第一比例伺服阀用于切换所述第一气源与所述第一待检测物体的容腔之间的导通状态，调整所述第一气源向所述第一待检测物体的容腔通入的气体的流量；所述第一压力传感器与所述第一待检测物体的容腔相连，用于检测该第一待检测物体的容腔内的压力，通过一段时间内检测到的压力值的变化来判断该第一待检测物体的容腔的气密性；所述第一压力传感器还与所述第一比例伺服阀相连，用于调整该第一比例伺服阀的导通状态或关断状态。