[实用新型]一种真空炉体及其使用的辅助阳极有效
| 申请号： | 201620758776.4 | 申请日： | 2016-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN205839120U | 公开（公告）日： | 2016-12-28 |
| 发明（设计）人： | 张远华 | 申请（专利权）人： | 森科五金（深圳）有限公司;张远华 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司44223 | 代理人： | 余敏 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光明*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种真空炉体及其使用的辅助阳极，真空炉体包括炉体、辅助阳极和阴极，所述阴极设置在所述炉体内部；所述辅助阳极为一筒形结构，筒形结构包括上环形支架和下环形支架，所述上环形支架和下环形支架之间固定设置多个条形结构或者多个弧形板结构，多个条结构交错呈格栅形状，多个弧形板结构中的至少一个的整个表面上均匀分布多个孔；所述筒形结构与所述阴极的有效溅射区域的高度差在10cm以内，所述筒形结构设置在所述炉体的内部，与所述阴极相对；所述炉体的底部设置有多个绝缘垫；所述炉体内还设置有阳极接线柱。本实用新型的真空炉体及其使用的辅助阳极，溅射时的离化效果好，膜层均匀致密，且阴极放电工作更稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空炉 及其 使用 辅助 阳极 | ||
【主权项】：
一种真空炉体，包括炉体、辅助阳极和阴极，所述阴极设置在所述炉体内部；其特征在于：所述辅助阳极为一筒形结构，筒形结构包括上环形支架和下环形支架，所述上环形支架和下环形支架之间固定设置多个条形结构或者多个弧形板结构，多个条结构交错呈格栅形状，多个弧形板结构中的至少一个的整个表面上均匀分布多个孔；所述筒形结构与所述阴极的有效溅射区域的高度差在10cm以内，所述筒形结构设置在所述炉体的内部，与所述阴极相对；所述炉体的底部设置有多个绝缘垫，所述筒形结构支撑在所述多个绝缘垫上；所述炉体内还设置有阳极接线柱，所述筒形结构通过所述阳极接线柱连接外部电源的正极。
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