[实用新型]一种MCrALY专用超厚膜电弧靶

摘要

本实用新型公开了一种MCrALY专用超厚膜电弧靶，所述阴极体的上方设置有靶材，所述阴极体的两侧安装有调整螺母，所述调整螺母的下方安装有螺母座，所述阴极体的两侧在调整螺母的上方设置有阴极体密封胶圈，所述水管与阴极体的相接处设置有水管密封胶圈，所述水管的两侧安装有绝缘套Ⅳ，所述绝缘套Ⅳ的上方设置有连接座，所述连接座的下方安装有绝缘套Ⅰ，所述绝缘套Ⅳ套设在靶座上，所述靶座的下方设置有调整手柄，所述水管的底部安装有快接水嘴，所述水管的上方设置有辐阳，所述水管的右侧安装有绝缘套Ⅱ，所述调整螺母与水管的连接处设置有端面密封胶圈，所述螺母座通过连接板与水管固定连接，所述连接座的下方通过垫固定连接有绝缘套Ⅲ。

主权项

一种MCrALY专用超厚膜电弧靶，包括阴极体（6）和水管（19），其特征在于：所述阴极体（6）的上方设置有靶材（18），所述阴极体（6）的两侧安装有调整螺母（5），所述调整螺母（5）的下方安装有螺母座（11），所述阴极体（6）的两侧在调整螺母（5）的上方设置有阴极体密封胶圈（7），所述水管（19）与阴极体（6）的相接处设置有水管密封胶圈（10），所述水管（19）的两侧安装有绝缘套Ⅳ（16），所述绝缘套Ⅳ（16）的上方设置有连接座（15），所述连接座（15）的下方安装有绝缘套Ⅰ（1），所述绝缘套Ⅳ（16）套设在靶座（2）上，所述靶座（2）的下方设置有调整手柄（3），所述水管（19）的底部安装有快接水嘴（4），所述水管（19）的上方设置有辐阳（17），所述水管（19）的右侧安装有绝缘套Ⅱ（9），所述调整螺母（5）与水管（19）的连接处设置有端面密封胶圈（8），所述螺母座（11）通过连接板（12）与水管（19）固定连接，所述连接座（15）的下方通过垫（13）固定连接有绝缘套Ⅲ（14）。