[实用新型]用于高速显微扫描的动态对焦装置

摘要

本实用新型提供了一种用于高速显微扫描的动态对焦装置，包括依次排布构成对焦探测光路的物镜、对焦透镜组、液体透镜、智能对焦相机，以及嵌入式对焦控制器、液体透镜驱动器、对焦机构驱动器、对焦执行机构、扫描机构驱动器、扫描运动机构；智能对焦相机连续采集并处理离焦探测图像进行离焦偏移编码；对焦执行机构驱动物镜实现Z轴对焦运动；扫描运动机构驱动样本实现XY平面扫描运动；嵌入式对焦控制器控制液体透镜进行连续离焦状态探测，并根据智能对焦相机的离焦偏移编码，控制对焦执行机构和扫描运动机构实现扫描运动和对焦运动的协同，实现连续扫描过程中的对焦跟踪。本实用新型中的装置能够大幅提高对焦响应速度和对焦跟踪精度。

主权项

一种用于高速显微扫描的动态对焦装置，包括：物镜(102)、液体透镜(108)、对焦透镜组(107)、智能对焦相机(109)、嵌入式对焦控制器(110)、液体透镜驱动器(111)、对焦机构驱动器(112)、对焦执行机构(103)、扫描机构驱动器(113)、扫描运动机构(114)；其中，所述物镜(102)、对焦透镜组(107)、液体透镜(108)、智能对焦相机依次排布构成对焦探测光路；嵌入式对焦控制器(110)分别通过信号线连接至液体透镜驱动器(111)、对焦机构驱动器(112)以及扫描机构驱动器(113)；所述液体透镜驱动器(111)驱动液体透镜(108)改变焦距，所述对焦机构驱动器(112)驱动对焦执行机构(103)移动，所述扫描机构驱动器(113)驱动扫描运动机构(114)移动。