[实用新型]一种二自由度微定位平台

摘要

本实用新型涉及一种二自由度微定位平台，属于微/纳机电系统领域。本实用新型所述X方向杠杆Ⅳ通过X方向柔性铰链Ⅲ与X方向杠杆Ⅲ相连，X方向杠杆Ⅲ通过X方向柔性铰链Ⅱ与X方向杠杆Ⅱ相连，X方向杠杆Ⅱ通过X方向柔性铰链Ⅰ与运动平台相连，X方向杠杆Ⅲ还通过X方向柔性铰链Ⅳ与X方向杠杆Ⅰ相连；Y方向杠杆Ⅰ通过Y方向柔性铰链Ⅲ与Y方向杠杆Ⅲ相连，Y方向杠杆Ⅲ通过Y方向柔性铰链Ⅳ与Y方向杠杆Ⅱ相连，Y方向杠杆Ⅱ通过Y方向柔性铰链Ⅰ与运动平台相连，Y方向杠杆Ⅲ还通过Y方向柔性铰链Ⅱ与Y方向杠杆Ⅳ相连。本实用新型结构紧凑，体积小，有效地减少X方向与Y方向运动时的耦合。

主权项

一种二自由度微定位平台，其特征在于：包括运动平台（1）、基座（2）、弧形导向机构Ⅰ（3）、弧形导向机构Ⅱ（4）、弧形导向机构Ⅲ（5）、弧形导向机构Ⅳ（6）、固定螺栓孔Ⅰ（7）、固定螺栓孔Ⅱ（8）、固定螺栓孔Ⅲ（9）、固定螺栓孔Ⅳ（10）、杠杆固定螺栓孔Ⅰ（11）、杠杆固定螺栓孔Ⅱ（12）、Y方向杠杆Ⅰ（13）、X方向压电陶瓷驱动器安放矩形槽（14）、Y方向柔性铰链Ⅰ（15）、Y方向压电陶瓷驱动器安放矩形槽（16）、Y方向柔性铰链Ⅱ（17）、Y方向柔性铰链Ⅲ（18）、X方向柔性铰链Ⅰ（19）、X方向柔性铰链Ⅱ（20）、X方向柔性铰链Ⅲ（21）、X方向杠杆Ⅰ（22）、Y方向杠杆Ⅱ（23）、Y方向杠杆Ⅲ（24）、Y方向杠杆Ⅳ（25）、X方向杠杆Ⅱ（26）、X方向杠杆Ⅲ（27）、X方向杠杆Ⅳ（28）、Y方向柔性铰链Ⅳ（29）、X方向柔性铰链Ⅳ（30）；所述运动平台（1）通过弧形导向机构Ⅰ（3）、弧形导向机构Ⅱ（4）、弧形导向机构Ⅲ（5）、弧形导向机构Ⅳ（6）与基座（2）相连；固定螺栓孔Ⅰ（7）、固定螺栓孔Ⅱ（8）、固定螺栓孔Ⅲ（9）、固定螺栓孔Ⅳ（10）分别位于基座（2）的四个角上，起固定基座（2）的作用；X方向压电陶瓷驱动器安放矩形槽（14）、Y方向压电陶瓷驱动器安放矩形槽（16）位于基座（2）上，Y方向压电陶瓷驱动器放于Y方向压电陶瓷驱动器安放矩形槽（16）内并通过预紧螺母使压电陶瓷一端紧靠在Y方向杠杆Ⅰ（13）上，X方向的压电陶瓷驱动器放于X方向压电陶瓷驱动器安放矩形槽（14）内并通过预紧螺母使压电陶瓷一端紧靠在X方向杠杆Ⅳ（28）上；所述X方向杠杆Ⅳ（28）通过X方向柔性铰链Ⅲ（21）与X方向杠杆Ⅲ（27）相连，同时，X方向杠杆Ⅲ（27）通过X方向柔性铰链Ⅱ（20）与X方向杠杆Ⅱ（26）相连，X方向杠杆Ⅱ（26）通过X方向柔性铰链Ⅰ（19）与运动平台（1）相连，X方向杠杆Ⅲ（27）还通过X方向柔性铰链Ⅳ（30）与X方向杠杆Ⅰ（22）相连，杠杆固定螺栓孔Ⅱ（12）在X方向杠杆Ⅰ（22）上起固定X方向杠杆Ⅰ（22）的作用；所述Y方向杠杆Ⅰ（13）通过Y方向柔性铰链Ⅲ（18）与Y方向杠杆Ⅲ（24）相连，同时，Y方向杠杆Ⅲ（24）通过Y方向柔性铰链Ⅳ（29）与Y方向杠杆Ⅱ（23）相连，Y方向杠杆Ⅱ（23）通过Y方向柔性铰链Ⅰ（15）与运动平台（1）相连，Y方向杠杆Ⅲ（24）还通过Y方向柔性铰链Ⅱ（17）与Y方向杠杆Ⅳ（25）相连，杠杆固定螺栓孔Ⅰ（11）在Y方向杠杆Ⅳ（25）上起固定Y方向杠杆Ⅳ（25）的作用。