[实用新型]一种紧凑型蒸发炉有效
| 申请号： | 201620692179.6 | 申请日： | 2016-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN205803580U | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 张卫卫;朱家宽;刘杰鹏;孙朋超;王孟孟;张啸潮;彭在长;张情情 | 申请（专利权）人： | 旭科新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 林燕辉 |
| 地址： | 314031 浙江省嘉兴市秀洲*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种紧凑型蒸发炉，包括铜蒸发炉和硒蒸发炉，其特征在于：所述硒蒸发炉包括硒炉坩埚、加热丝和水套，所述铜蒸发炉包括铜炉坩埚，所述铜炉坩埚外侧设置有5至10层热屏蔽层，所述热屏蔽层均位于铜炉坩埚外侧，且从内往外依次设置，所述的热屏蔽层依次间隔设置，所述加热丝固定在硒炉坩埚内壁上，所述加热丝为螺旋状且沿硒炉坩埚内壁盘旋设置。本实用新型结构简单，设计合理，能实现蒸发炉小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紧凑型 蒸发 | ||
【主权项】：
一种紧凑型蒸发炉，包括铜蒸发炉和硒蒸发炉，其特征在于：所述硒蒸发炉包括硒炉坩埚、加热丝和水套，所述铜蒸发炉包括铜炉坩埚，所述铜炉坩埚外侧设置有5至10层热屏蔽层，所述热屏蔽层均位于铜炉坩埚外侧，且从内往外依次设置，所述的热屏蔽层依次间隔设置，所述加热丝固定在硒炉坩埚内壁上，所述加热丝为螺旋状且沿硒炉坩埚内壁盘旋设置。
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