[实用新型]一种具有球差校正功能的装置和一种光学系统有效
| 申请号： | 201620684517.1 | 申请日： | 2016-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN205827053U | 公开（公告）日： | 2016-12-21 |
| 发明（设计）人： | 宋珊珊;郭银章 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有球差校正功能的装置，设置在光刻物镜中，所述具有球差校正功能的装置包括平板透镜和温度调整机构，所述平板透镜设置在所述温度调整机构中；本实用新型所述具有球差校正功能的装置，通过控制温度来调整光线经过所述平板透镜的光程来补偿球差，结构简单、容易控制，且生产成本低；本实用新型还公开了一种光学系统，包括双远心光刻物镜以及一组分别设置在所述双远心光刻物镜物方首位和像方末位的上述具有球差校正功能的装置；本实用新型所述光学系统具有球差校正功能，提高了分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 校正 功能 装置 光学系统 | ||
【主权项】：
一种具有球差校正功能的装置，其特征在于，设置在光刻物镜中，所述具有球差校正功能的装置包括平板透镜和温度调整机构，所述平板透镜设置在所述温度调整机构中。
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