[实用新型]一种旋转式硅片修磨装置有效
| 申请号： | 201620664508.6 | 申请日： | 2016-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN205799241U | 公开（公告）日： | 2016-12-14 |
| 发明（设计）人： | 赵飞;李永峰;颜玉峰;王辉 | 申请（专利权）人： | 宁晋松宫电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B41/06 | 分类号： | B24B41/06;B24B47/12;B24B9/06 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所13124 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 055550 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种旋转式硅片修磨装置，其包括其机架、第一连轴和第二连轴，在机架上设置有水平的基台，位于基台上方由上到下依次设有连接环、水平旋台；第二连轴穿过基台和水平旋台，第二连轴与水平旋台固定连接，第一连轴穿过第二连轴的中心与连接环固定连接，在连接环10上设有多个硅片夹块，各个硅片夹块沿连接环的径向均匀设置，水平旋台和连接环都各通过一个电机驱动，电机旋向相反，使得水平旋台和连接环在转动时旋向相反，通过将第一连轴和第二连轴同轴设置，并且在二者之间隔绝一轴承的配合方式减小了设备体积，通过正反转双向转动的方式可以保证高效磨削，缩短耗时，该磨削方式磨削口出的水平度较好，磨口相对平整，碎片率低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 硅片 装置 | ||
【主权项】：
一种旋转式硅片修磨装置，其特征在于：包括机架(1)、第一连轴(8)和第二连轴(7)，在机架(1)上设置有水平的基台(1a),位于基台(1a)上方由上到下依次设有连接环(10)、水平旋台(6)；第二连轴(7)穿过基台(1a)和水平旋台(6)，第二连轴(7)与水平旋台(6)固定连接，第一连轴(8)与第二连轴(7)同轴，第一连轴(8)穿过第二连轴(7)的中心与连接环(10)固定连接，在连接环(10)上设有多个硅片夹块(9)，各个硅片夹块(9)沿连接环(10)的径向均匀设置；位于基台(1a)下方设有硅片电机(4)和旋台电机(2)，旋台电机(2)与旋台减速器(3)的输入轴相连，旋台减速器的输出轴与第二连轴(7)相连，硅片电机(4)与硅片减速器(5)的输入轴相连，硅片减速器(5)的输出轴与第一连轴(8)相连。
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