[实用新型]碳源可控单壁碳纳米管阵列的制备装置

摘要

碳源可控单壁碳纳米管阵列的制备装置，该装置包括：气体管路控制部分，高温管式实验主体，尾气吸收处理装置。气体管路控制部分包括气体流量计、开关阀、液体容器、导气管；高温管式实验主体主要包括法兰、高温管式炉、石英管、基片。气体管路控制部分的导气管最终指向石英管。石英管两端塞紧法兰，法兰上留有导气管连通孔。石英管外壁设有高温管式炉，石英管内部中间处放有基片，石英管另一端通过导气管连接尾气处理装置。本装置具有的优点是改进传统的化学气相沉积方法(CVD)，实现碳源可控，减少更换碳源装置的繁琐，以及改装碳源装置后续繁琐的检查气密性工作，节约时间，提高效率和准确性。

主权项

碳源可控单壁碳纳米管阵列的制备装置，包括：气体管路控制部分，高温管式炉，尾气吸收处理装置；其特征在于，其中气体管路控制部分包括第一气体流量计、第二气体流量计、第三气体流量计、第一开关阀、第二开关阀、第三开关阀、第四开关阀、液体容器、导气管；高温管式炉包括法兰、高温管式炉、石英管、基片；其一导气管安置第一气体流量计且设有第二开关阀，导气管通向液体容器内部，液体容器为装有部分液体，两孔连接一长一短导气管的密封装置，设有第一开关阀的导气管支路与液体容器另一较短导气管连通，且指向石英管；另有导气管安置第二气体流量计且设有第三开关阀，还有导气管安置第三气体流量计且设有第四开关阀，导气管最终均通向石英管；石英管两端塞紧法兰，法兰上留有导气管连通孔；石英管外壁设有高温管式炉，石英管内部中间处放有基片，石英管另一端通过导气管连接尾气处理装置；尾气处理装置为玻璃容器，玻璃容器内装有吸收尾气的液体，连通石英管一端导气管插入液体内部，另有一导气管连通玻璃容器且在液体表面以上。