[实用新型]一种检测校正光束方向同轴性高精度准静态系统有效

专利信息
申请号: 201620644289.5 申请日: 2016-06-27
公开(公告)号: CN205718879U 公开(公告)日: 2016-11-23
发明(设计)人: 邵华江;李思佳;李思泉 申请(专利权)人: 上海嘉强自动化技术有限公司
主分类号: G01B11/26 分类号: G01B11/26
代理公司: 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 代理人: 叶树明
地址: 201611 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种检测校正光束方向同轴性高精度准静态系统,包括第一轴锥透镜、第二轴锥透镜和非球面聚焦镜,光束入射面至光束出射面之间依次设置第一轴锥透镜、第二轴锥透镜和非球面聚焦镜,且第一轴锥透镜、第二轴锥透镜和非球面聚焦镜中心轴同轴,在非球面聚焦镜一侧还设有可进行光轴方向微调的CCD,本实用新型结构设计新颖,能够准静态高精度定性检测光束传输方向与同轴误差,同时能够高精度校正还原光束实际传输特性,更大限度降低各类镜片装配误差所引起的光学特性变化,提高精细激光加工一致性与加工质量。
搜索关键词: 一种 检测 校正 光束 方向 同轴 高精度 静态 系统
【主权项】:
一种检测校正光束方向同轴性高精度准静态系统,其特征在于:包括第一轴锥透镜、第二轴锥透镜和非球面聚焦镜,光束入射面至光束出射面之间依次设置所述第一轴锥透镜、所述第二轴锥透镜和所述非球面聚焦镜,且所述第一轴锥透镜、所述第二轴锥透镜和所述非球面聚焦镜中心轴同轴,在所述非球面聚焦镜一侧还设有可进行光轴方向微调的CCD。
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