[实用新型]一种检测校正光束方向同轴性高精度准静态系统有效
申请号: | 201620644289.5 | 申请日: | 2016-06-27 |
公开(公告)号: | CN205718879U | 公开(公告)日: | 2016-11-23 |
发明(设计)人: | 邵华江;李思佳;李思泉 | 申请(专利权)人: | 上海嘉强自动化技术有限公司 |
主分类号: | G01B11/26 | 分类号: | G01B11/26 |
代理公司: | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人: | 叶树明 |
地址: | 201611 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种检测校正光束方向同轴性高精度准静态系统,包括第一轴锥透镜、第二轴锥透镜和非球面聚焦镜,光束入射面至光束出射面之间依次设置第一轴锥透镜、第二轴锥透镜和非球面聚焦镜,且第一轴锥透镜、第二轴锥透镜和非球面聚焦镜中心轴同轴,在非球面聚焦镜一侧还设有可进行光轴方向微调的CCD,本实用新型结构设计新颖,能够准静态高精度定性检测光束传输方向与同轴误差,同时能够高精度校正还原光束实际传输特性,更大限度降低各类镜片装配误差所引起的光学特性变化,提高精细激光加工一致性与加工质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 检测 校正 光束 方向 同轴 高精度 静态 系统 | ||
【主权项】:
一种检测校正光束方向同轴性高精度准静态系统,其特征在于:包括第一轴锥透镜、第二轴锥透镜和非球面聚焦镜,光束入射面至光束出射面之间依次设置所述第一轴锥透镜、所述第二轴锥透镜和所述非球面聚焦镜,且所述第一轴锥透镜、所述第二轴锥透镜和所述非球面聚焦镜中心轴同轴,在所述非球面聚焦镜一侧还设有可进行光轴方向微调的CCD。
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