[实用新型]一种微通道板组件处理及测试设备有效
| 申请号： | 201620627528.6 | 申请日： | 2016-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN205749344U | 公开（公告）日： | 2016-11-30 |
| 发明（设计）人： | 王瑞华;薛道荣 | 申请（专利权）人： | 北京奥普科星技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/00 | 分类号： | G01N23/00 |
| 代理公司： | 北京纽乐康知识产权代理事务所(普通合伙) 11210 | 代理人： | 张朝元 |
| 地址： | 102308 北京市门头沟*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种微通道板组件处理及测试设备，包括依次连接的预真空室、真空烘烤室、电子清刷及测试室、真空过渡室及出样室，所述的预真空室、真空烘烤室、电子清刷及测试室、真空过渡室及出样室形成互相联通的腔体结构，所述的腔体结构内设有样品行走机构，所述的预真空室连接有机械泵和分子泵，所述的电子清刷及测试室连接有溅射离子泵。本实用新型中抽真空设备采用机械泵、分子泵加离子泵三级真空获得系统，确保系统的真空度达到10‑7Pa以上，为中子束分析提供理想的超高真空环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 通道 组件 处理 测试 设备 | ||
【主权项】：
一种微通道板组件处理及测试设备，其特征在于，包括依次连接的预真空室（1）、真空烘烤室（2）、电子清刷及测试室（3）、真空过渡室（4）及出样室（5），所述的预真空室（1）、真空烘烤室（2）、电子清刷及测试室（3）、真空过渡室（4）及出样室（5）形成相互连通的腔体结构，所述腔体结构内设有样品行走机构；所述的预真空室（1）连接有机械泵（6）和分子泵（7），所述的电子清刷及测试室（3）连接有溅射离子泵（8）。
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