[实用新型]平板型静电卡盘装置有效
| 申请号： | 201620610733.1 | 申请日： | 2016-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN205845922U | 公开（公告）日： | 2016-12-28 |
| 发明（设计）人： | 朱煜;徐登峰;韩玮琦;成荣;许岩;杨鹏远;雷忠兴;王建冲;唐娜娜;侯占杰 | 申请（专利权）人： | 北京华卓精科科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京恩赫律师事务所11469 | 代理人： | 赵文成;宋波 |
| 地址： | 100084 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种平板型静电卡盘装置，属于超薄板件材料的加工辅助夹持设备技术领域，所述平板型静电卡盘装置包括金属底座和位于所述金属底座上的聚酰亚胺静电膜，所述聚酰亚胺静电膜包括聚酰亚胺膜和与所述聚酰亚胺膜贴合的导电体，所述导电体为金属箔，所述金属箔的正负两极相互交错且不连通。本实用新型的平板型静电卡盘装置不仅吸附力均匀，可以将工件稳定的固定住，而且操作简便。 | ||
| 搜索关键词： | 平板 静电 卡盘 装置 | ||
【主权项】：
一种平板型静电卡盘装置，其特征在于，包括金属底座和位于所述金属底座上的聚酰亚胺静电膜，所述聚酰亚胺静电膜包括聚酰亚胺膜和与所述聚酰亚胺膜贴合的导电体，所述导电体为金属箔，所述金属箔的正负两极相互交错且不连通。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
