[实用新型]一种用于氦质谱检漏仪的泄漏率多路自动化测量装置有效
申请号: | 201620608772.8 | 申请日: | 2016-06-20 |
公开(公告)号: | CN205748829U | 公开(公告)日: | 2016-11-30 |
发明(设计)人: | 张涛;张鹏辉;王琦;白冰 | 申请(专利权)人: | 中国兵器工业第二一三研究所 |
主分类号: | G01M3/20 | 分类号: | G01M3/20 |
代理公司: | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人: | 顾潮琪 |
地址: | 710000 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种用于氦质谱检漏仪的泄漏率多路自动化测量装置,包括氦质谱检漏仪、若干个两位三通阀和检漏盒,所述的氦质谱检漏仪的检漏口通过若干个按照二分树关系级联的两位三通阀连接各个检漏盒,每个检漏盒中放置一个被检样品,控制电路控制检漏口和各个两位三通阀的开闭。本实用新型能够一次性分别在多个检漏盒内分别装入试品,可连续对多发试品进行漏率测试,期间不需要人工干预,从而减少重复劳动,降低时间消耗,提高工作效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 氦质谱 检漏 泄漏 率多路 自动化 测量 装置 | ||
【主权项】:
一种用于氦质谱检漏仪的泄漏率多路自动化测量装置,包括氦质谱检漏仪、若干个两位三通阀和检漏盒,其特征在于:所述的氦质谱检漏仪的检漏口通过若干个按照二分树关系级联的两位三通阀连接各个检漏盒,每个检漏盒中放置一个被检样品,控制电路控制检漏口和各个两位三通阀的开闭。
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