[实用新型]一种用于溅射镀膜设备的夹具及溅射镀膜设备

摘要

本实用新型公开了一种夹具，包括夹头和安装壳，夹头固定在安装壳上，其中，安装可的支撑背板与夹头的安装背板相对设置，夹头还包括第一安装侧板，第一安装侧板固定在安装背板上，第一安装侧板的延伸方向与夹持板的凸出方向相反，安装壳还包括支撑侧板，支撑侧板设置在支撑背板上，且与第一安装侧板相对设置，第一安装侧板上形成有第一通孔，支撑侧板上设置有第二通孔，夹具还包括操作机构和连接杆，操作机构能够控制连接杆穿过第一通孔和第二通孔，以将夹头固定在安装壳上，并且操作机构还能够控制连接杆缩回安装壳内。本实用新型还提供一种溅射镀膜设备。在所述夹具中，可以方便地更换夹头。

主权项

一种用于溅射镀膜设备的夹具，包括夹头和安装壳，所述夹头固定在所述安装壳上，所述夹头包括夹持板和安装背板，所述夹持板形成在所述安装背板的一端，且所述夹持板朝向与所述安装背板成角度的方向凸出，所述安装壳包括支撑背板，其特征在于，所述支撑背板与所述安装背板相对设置，所述夹头还包括第一安装侧板，所述第一安装侧板固定在所述安装背板上，所述第一安装侧板的延伸方向与所述夹持板的凸出方向相反，所述安装壳还包括支撑侧板，所述支撑侧板设置在所述支撑背板上，且与所述第一安装侧板相对设置，所述第一安装侧板上形成有第一通孔，所述支撑侧板上设置有第二通孔，所述夹具还包括操作机构和连接杆，所述操作机构能够控制所述连接杆穿过所述第一通孔和所述第二通孔，以将所述夹头固定在所述安装壳上，并且所述操作机构还能够控制所述连接杆缩回所述安装壳内。