[实用新型]接头及晶圆支持载具有效
| 申请号： | 201620557029.4 | 申请日： | 2016-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN205934094U | 公开（公告）日： | 2017-02-08 |
| 发明（设计）人： | 王志元 | 申请（专利权）人： | 王志元 |
| 主分类号： | C25D17/08 | 分类号： | C25D17/08;C25D7/12 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司11214 | 代理人： | 黄超,周春发 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型揭露一种接头及晶圆支持载具，其中该接头大致呈圆柱状，其包含一螺牙段、一挡止段及一弹臂段，螺牙段的表面刻设有螺纹，挡止段设置于螺牙段与弹臂段之间，弹臂段的直径大于螺牙段，且弹臂段自远离挡止段的一端断开并朝向挡止段的方向延伸以形成至少一切口。 | ||
| 搜索关键词： | 接头 支持 | ||
【主权项】：
一种接头，适用于一晶圆支持载具，其特征在于，该接头(10)呈圆柱状，其包含一螺牙段(11)、一挡止段(12)及一弹臂段(13)，该螺牙段(11)的表面刻设有螺纹，该挡止段(12)设置于该螺牙段(11)与该弹臂段(13)之间，该弹臂段(13)的直径大于该螺牙段(11)，且该弹臂段(13)自远离该挡止段(12)的一端断开并朝向该挡止段(12)的方向延伸以形成至少一切口(131)。
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